成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880018745.3

申请日：

2008-06-02

公开(公告)号：

CN101715602A

公开(公告)日：

2010-05-26

发明(设计)人：

松本贤治伊藤仁根石浩司小池淳一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21285

IPC分类号：

H01L2128 H01L21768 C23C1618 C23C1644

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/285 申请日:20080602 授权公告日:20120620 终止日期:20170602
2010-08-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101004471678 IPC(主分类):H01L 21/285 专利申请号:2008800187453 申请日:20080602
2010-05-26	公开	公开
2012-06-20	授权	授权

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

松本贤治 ;

伊藤仁 ;

根石浩司 ;

小池淳一 .

中国专利 :CN102306627A ,2012-01-04

[2]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

小山峻史 ;

大槻志门 ;

向山廉 ;

吹上纪明 ;

小川淳 .

日本专利 :CN112391612B ,2024-07-09

[3]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

大槻志门 ;

小山峻史 ;

向山廉 ;

小川淳 ;

吹上纪明 .

中国专利 :CN112391607A ,2021-02-23

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

小岛康彦 ;

池田太郎 ;

波多野达夫 .

中国专利 :CN101484609A ,2009-07-15

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

大槻志门 ;

小山峻史 ;

向山廉 ;

小川淳 ;

吹上纪明 .

日本专利 :CN112391607B ,2024-11-05

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

小山峻史 ;

大槻志门 ;

向山廉 ;

吹上纪明 ;

小川淳 .

中国专利 :CN112391612A ,2021-02-23

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

小野寺聪 ;

户根川大和 ;

小川淳 .

日本专利 :CN118086867A ,2024-05-28

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

高木聪 ;

北村和也 ;

蔡秀林 .

日本专利 :CN112582254B ,2025-07-29

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

藤田成树 .

日本专利 :CN120530226A ,2025-08-22

[10]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN103526183A ,2014-01-22

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