成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010788135.4

申请日：

2020-08-07

公开(公告)号：

CN112391612A

公开(公告)日：

2021-02-23

发明(设计)人：

羽根秀臣小山峻史大槻志门向山廉吹上纪明小川淳

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1634 C23C16458 C23C1650

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20200807
2021-02-23	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

小山峻史 ;

大槻志门 ;

向山廉 ;

吹上纪明 ;

小川淳 .

日本专利 :CN112391612B ,2024-07-09

[2]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

大槻志门 ;

小山峻史 ;

向山廉 ;

小川淳 ;

吹上纪明 .

中国专利 :CN112391607A ,2021-02-23

[3]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

大槻志门 ;

小山峻史 ;

向山廉 ;

小川淳 ;

吹上纪明 .

日本专利 :CN112391607B ,2024-11-05

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

小川淳 ;

吹上纪明 .

中国专利 :CN112410753A ,2021-02-26

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

小川淳 ;

吹上纪明 .

日本专利 :CN112410753B ,2024-08-30

[6]

氮化硅膜的成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

高桥豊 ;

久保万身 .

中国专利 :CN109385626A ,2019-02-26

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

小野寺聪 ;

户根川大和 ;

小川淳 .

日本专利 :CN118086867A ,2024-05-28

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

松本贤治 ;

伊藤仁 ;

根石浩司 ;

小池淳一 .

中国专利 :CN102306627A ,2012-01-04

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

松永正信 ;

铃木启介 ;

张宰赫 ;

周保华 ;

米泽雅人 ;

长谷川雅之 ;

长谷部一秀 .

中国专利 :CN102097302A ,2011-06-15

[10]

成膜装置和成膜方法 [P].

佐佐木和男 ;

町山弥 ;

齐藤均 ;

佐佐木芳彦 .

日本专利 :CN115522181B ,2024-07-30

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