成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010811945.7

申请日：

2020-08-13

公开(公告)号：

CN112410753A

公开(公告)日：

2021-02-26

发明(设计)人：

小川淳吹上纪明

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C16455

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20200813
2021-02-26	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

小川淳 ;

吹上纪明 .

日本专利 :CN112410753B ,2024-08-30

[2]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

小山峻史 ;

大槻志门 ;

向山廉 ;

吹上纪明 ;

小川淳 .

日本专利 :CN112391612B ,2024-07-09

[3]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

大槻志门 ;

小山峻史 ;

向山廉 ;

小川淳 ;

吹上纪明 .

中国专利 :CN112391607A ,2021-02-23

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

大槻志门 ;

小山峻史 ;

向山廉 ;

小川淳 ;

吹上纪明 .

日本专利 :CN112391607B ,2024-11-05

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

小山峻史 ;

大槻志门 ;

向山廉 ;

吹上纪明 ;

小川淳 .

中国专利 :CN112391612A ,2021-02-23

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

松永正信 ;

铃木启介 ;

张宰赫 ;

周保华 ;

米泽雅人 ;

长谷川雅之 ;

长谷部一秀 .

中国专利 :CN102097302A ,2011-06-15

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

田吹圭司 ;

大越显 ;

小川淳 .

日本专利 :CN121148996A ,2025-12-16

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

田吹圭司 ;

大越显 ;

小川淳 .

日本专利 :CN121148995A ,2025-12-16

[9]

成膜装置和成膜方法 [P].

佐佐木优 ;

城俊彦 ;

加藤寿 ;

高桥宏辅 .

中国专利 :CN112626498A ,2021-04-09

[10]

成膜方法和成膜装置 [P].

千田翔太 ;

渡边要介 ;

铃木启介 .

日本专利 :CN117364056A ,2024-01-09

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