成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010811945.7

申请日：

2020-08-13

公开(公告)号：

CN112410753A

公开(公告)日：

2021-02-26

发明(设计)人：

小川淳吹上纪明

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C16455

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20200813
2021-02-26	公开	公开

共 50 条

[41]

成膜方法和成膜装置 [P].

高木聪 ;

北村和也 ;

蔡秀林 .

中国专利 :CN112582254A ,2021-03-30

[42]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

中坪敏行 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN103924220A ,2014-07-16

[43]

成膜方法和成膜装置 [P].

大仓成幸 ;

山中孟 .

中国专利 :CN104471106A ,2015-03-25

[44]

成膜装置和成膜方法 [P].

铃木步太 ;

山本康介 ;

松崎和爱 ;

加贺谷宗仁 ;

守屋刚 ;

光成正 ;

久保敦史 .

中国专利 :CN108165954B ,2018-06-15

[45]

成膜装置和成膜方法 [P].

松本贤治 .

中国专利 :CN101802255A ,2010-08-11

[46]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 .

中国专利 :CN101660142B ,2010-03-03

[47]

成膜方法和成膜装置 [P].

熊谷武司 ;

尾谷宗之 ;

大久保和哉 .

中国专利 :CN105039929B ,2015-11-11

[48]

成膜装置和成膜方法 [P].

佐佐木和男 ;

町山弥 ;

齐藤均 ;

佐佐木芳彦 .

中国专利 :CN115522181A ,2022-12-27

[49]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤裕子 ;

矢岛贵浩 ;

远山佳宏 ;

青代信 ;

清健介 ;

高桥明久 ;

斋藤一也 .

中国专利 :CN107636192A ,2018-01-26

[50]

成膜装置和成膜方法 [P].

松本贤治 ;

佐藤浩 ;

大平达也 ;

町田英明 ;

石川真人 .

中国专利 :CN101426950A ,2009-05-06

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