成膜装置和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880108045.3

申请日：

2008-09-19

公开(公告)号：

CN101802255A

公开(公告)日：

2010-08-11

发明(设计)人：

松本贤治

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23C1618

IPC分类号：

H01L2128 H01L21285

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-08-11	公开	公开
2013-03-13	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101532592885 IPC(主分类):C23C 16/18 专利申请号:2008801080453 申请公布日:20100811
2010-09-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101006239925 IPC(主分类):C23C 16/18 专利申请号:2008801080453 申请日:20080919

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

小野寺聪 ;

户根川大和 ;

小川淳 .

日本专利 :CN118086867A ,2024-05-28

[2]

成膜方法和成膜装置 [P].

高木聪 ;

北村和也 ;

蔡秀林 .

日本专利 :CN112582254B ,2025-07-29

[3]

成膜方法和成膜装置 [P].

藤田成树 .

日本专利 :CN120530226A ,2025-08-22

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

松本贤治 ;

伊藤仁 ;

根石浩司 ;

小池淳一 .

中国专利 :CN102306627A ,2012-01-04

[5]

成膜装置和成膜方法 [P].

福岛讲平 .

中国专利 :CN104947081A ,2015-09-30

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

小川淳 ;

吹上纪明 .

中国专利 :CN112410753A ,2021-02-26

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

高桥毅 ;

柿本明修 ;

通口健介 ;

出野由和 ;

佐野正树 .

日本专利 :CN120659906A ,2025-09-16

[8]

成膜装置和成膜方法 [P].

矢部和雄 ;

清水亮 .

中国专利 :CN105177525A ,2015-12-23

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

三浦纮树 ;

小堆正人 .

中国专利 :CN110218989B ,2019-09-10

[10]

成膜装置和成膜方法 [P].

佐佐木和男 ;

町山弥 ;

齐藤均 ;

佐佐木芳彦 .

日本专利 :CN115522181B ,2024-07-30

← 1 2 3 4 5 →