成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010811945.7

申请日：

2020-08-13

公开(公告)号：

CN112410753A

公开(公告)日：

2021-02-26

发明(设计)人：

小川淳吹上纪明

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C16455

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20200813
2021-02-26	公开	公开

共 50 条

[21]

成膜装置和成膜方法 [P].

矢部和雄 ;

清水亮 .

中国专利 :CN105177525A ,2015-12-23

[22]

成膜方法和成膜装置 [P].

三浦纮树 ;

小堆正人 .

中国专利 :CN110218989B ,2019-09-10

[23]

成膜装置和成膜方法 [P].

佐佐木和男 ;

町山弥 ;

齐藤均 ;

佐佐木芳彦 .

日本专利 :CN115522181B ,2024-07-30

[24]

成膜方法和成膜装置 [P].

松本贤治 ;

伊藤仁 ;

根石浩司 ;

小池淳一 .

中国专利 :CN101715602A ,2010-05-26

[25]

成膜装置和成膜方法 [P].

古屋雄一 ;

田中雅之 .

日本专利 :CN121006520A ,2025-11-25

[26]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN103572259A ,2014-02-12

[27]

成膜装置和成膜方法 [P].

反田雄太 ;

齐藤哲也 ;

大仓成幸 ;

古屋雄一 ;

原正道 .

中国专利 :CN113774355A ,2021-12-10

[28]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

大下健太郎 ;

大槻志门 ;

小川淳 ;

吹上纪明 ;

池川宽晃 ;

小林保男 ;

小山峻史 .

中国专利 :CN110364433A ,2019-10-22

[29]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

织户康一 .

中国专利 :CN102002685B ,2011-04-06

[30]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

竹内靖 .

中国专利 :CN102433547B ,2012-05-02

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