成膜装置和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711284172.6

申请日：

2017-12-07

公开(公告)号：

CN108165954B

公开(公告)日：

2018-06-15

发明(设计)人：

铃木步太山本康介松崎和爱加贺谷宗仁守屋刚光成正久保敦史

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20171207
2022-11-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20171207 授权公告日:20200623 终止日期:20211207
2020-06-23	授权	授权
2018-06-15	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

藤田成树 .

日本专利 :CN120530226A ,2025-08-22

[2]

成膜装置和成膜方法 [P].

福岛讲平 .

中国专利 :CN104947081A ,2015-09-30

[3]

成膜方法和成膜装置 [P].

高桥毅 ;

柿本明修 ;

通口健介 ;

出野由和 ;

佐野正树 .

日本专利 :CN120659906A ,2025-09-16

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

三浦纮树 ;

小堆正人 .

中国专利 :CN110218989B ,2019-09-10

[5]

成膜装置和成膜方法 [P].

佐佐木和男 ;

町山弥 ;

齐藤均 ;

佐佐木芳彦 .

日本专利 :CN115522181B ,2024-07-30

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

铃木启介 ;

村上博纪 ;

菱屋晋吾 ;

门永健太郎 ;

小幡穣 .

中国专利 :CN104928647A ,2015-09-23

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

芦泽宏明 ;

藤井康 ;

高桥毅 ;

洪锡亨 ;

山崎和良 ;

中村秀雄 ;

布重裕 ;

神尾卓史 .

中国专利 :CN108796471B ,2018-11-13

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

熊谷武司 ;

尾谷宗之 ;

大久保和哉 .

中国专利 :CN105039929B ,2015-11-11

[9]

成膜装置和成膜方法 [P].

佐佐木和男 ;

町山弥 ;

齐藤均 ;

佐佐木芳彦 .

中国专利 :CN115522181A ,2022-12-27

[10]

成膜方法和成膜装置 [P].

藤田成树 ;

村上博纪 .

日本专利 :CN116065139B ,2024-11-08

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