成膜方法和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510735016.5

申请日：

2025-06-04

公开(公告)号：

CN121148995A

公开(公告)日：

2025-12-16

发明(设计)人：

田吹圭司大越显小川淳

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

H01L21/318

IPC分类号：

C23C16/34 C23C16/455

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

王小香;李靖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-16	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

田吹圭司 ;

大越显 ;

小川淳 .

日本专利 :CN121148996A ,2025-12-16

[2]

氮化硅膜的成膜方法和成膜装置 [P].

村上博纪 ;

渡边要介 ;

长谷部一秀 .

中国专利 :CN102560417A ,2012-07-11

[3]

成膜方法和成膜装置 [P].

松永正信 ;

铃木启介 ;

张宰赫 ;

周保华 ;

米泽雅人 ;

长谷川雅之 ;

长谷部一秀 .

中国专利 :CN102097302A ,2011-06-15

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

小川淳 ;

吹上纪明 .

中国专利 :CN112410753A ,2021-02-26

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

小山峻史 ;

大槻志门 ;

向山廉 ;

吹上纪明 ;

小川淳 .

日本专利 :CN112391612B ,2024-07-09

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

大槻志门 ;

小山峻史 ;

向山廉 ;

小川淳 ;

吹上纪明 .

中国专利 :CN112391607A ,2021-02-23

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

小川淳 ;

吹上纪明 .

日本专利 :CN112410753B ,2024-08-30

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

大槻志门 ;

小山峻史 ;

向山廉 ;

小川淳 ;

吹上纪明 .

日本专利 :CN112391607B ,2024-11-05

[9]

成膜方法和成膜装置 [P].

羽根秀臣 ;

小山峻史 ;

大槻志门 ;

向山廉 ;

吹上纪明 ;

小川淳 .

中国专利 :CN112391612A ,2021-02-23

[10]

成膜方法和成膜装置 [P].

周保华 ;

梅泽好太 ;

渡边要介 ;

长谷川雅之 .

中国专利 :CN102242350B ,2011-11-16

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