成膜装置和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010982683.0

申请日：

2020-09-17

公开(公告)号：

CN112626498A

公开(公告)日：

2021-04-09

发明(设计)人：

佐佐木优城俊彦加藤寿高桥宏辅

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C16455 H01L21687

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20200917
2021-04-09	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜方法和成膜装置 [P].

小川淳 ;

吹上纪明 .

中国专利 :CN112410753A ,2021-02-26

[2]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

本间学 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN101859694B ,2010-10-13

[3]

成膜方法和成膜装置 [P].

小川淳 ;

吹上纪明 .

日本专利 :CN112410753B ,2024-08-30

[4]

成膜方法和成膜装置 [P].

小野寺聪 ;

户根川大和 ;

小川淳 .

日本专利 :CN118086867A ,2024-05-28

[5]

成膜方法和成膜装置 [P].

加藤寿 ;

牛窪繁博 ;

田村辰也 ;

尾崎成则 ;

熊谷武司 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN102787304A ,2012-11-21

[6]

成膜方法和成膜装置 [P].

高木聪 ;

北村和也 ;

蔡秀林 .

日本专利 :CN112582254B ,2025-07-29

[7]

成膜方法和成膜装置 [P].

藤田成树 .

日本专利 :CN120530226A ,2025-08-22

[8]

成膜方法和成膜装置 [P].

松本贤治 ;

伊藤仁 ;

根石浩司 ;

小池淳一 .

中国专利 :CN102306627A ,2012-01-04

[9]

成膜装置和成膜方法 [P].

加藤寿 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN103526183A ,2014-01-22

[10]

成膜装置和成膜方法 [P].

福岛讲平 .

中国专利 :CN104947081A ,2015-09-30

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