一种降低PECVD机台TMA耗量的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810573301.1

申请日：

2018-06-06

公开(公告)号：

CN108470800A

公开(公告)日：

2018-08-31

发明(设计)人：

彭平夏中高马岳辉李旭杰李鹏云陈庆发梁红菲陈伟兵

申请人：

申请人地址：

461700 河南省许昌市襄城县产业集聚区（襄业路中段）

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

代理机构：

许昌豫创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 41140

代理人：

韩晓静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-29	授权	授权
2018-09-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20180606
2018-08-31	公开	公开

共 50 条

[1]

一种降低铁水单耗的冶炼方法 [P].

刘彭 ;

徐刚军 ;

周军军 ;

隋亚飞 ;

邓之勋 ;

程绘兵 ;

谭大进 ;

陈杰 ;

戴智才 .

中国专利 :CN111004886B ,2020-04-14

[2]

一种向管式PECVD的TMA介质输送系统 [P].

王俊朝 ;

李军阳 ;

李学文 ;

杜武明 .

中国专利 :CN210261990U ,2020-04-07

[3]

一种PECVD主机台炉管清理装置 [P].

蔡兆勇 ;

岳成武 ;

杨灼坚 .

中国专利 :CN218404399U ,2023-01-31

[4]

一种低EL黑斑的PECVD机台饱和工艺 [P].

马岳辉 ;

彭平 ;

夏中高 ;

李旭杰 ;

杨雄磊 .

中国专利 :CN110295358B ,2019-10-01

[5]

一种提高系统蒸水量降低汽耗的方法 [P].

陈国华 ;

李文锋 ;

汪漪 ;

王剑 .

中国专利 :CN107754363A ,2018-03-06

[6]

一种降低拜耳法生产过程碱耗的方法 [P].

李旺兴 ;

尹中林 ;

韩东战 ;

杨巧芳 ;

郑洁 .

中国专利 :CN102976570A ,2013-03-20

[7]

一种提高电池转化效率的PECVD机台钝化工艺 [P].

朱海荣 ;

彭平 ;

夏中高 ;

李旭杰 .

中国专利 :CN112349815A ,2021-02-09

[8]

降低石油中含苯量的方法 [P].

C·特拉弗斯 ;

P·沙拉津 ;

P·考蒂 .

中国专利 :CN1111672A ,1995-11-15

[9]

木糖生产中节水、降低酸碱比耗的方法 [P].

韩小航 ;

秦全生 ;

张洁 ;

程丽敏 .

中国专利 :CN102080133B ,2011-06-01

[10]

一种ITO机台的复机方法 [P].

洪加添 ;

翁晓佩 ;

李刚 .

中国专利 :CN115125500A ,2022-09-30

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