一种向管式PECVD的TMA介质输送系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920718957.8

申请日：

2019-05-16

公开(公告)号：

CN210261990U

公开(公告)日：

2020-04-07

发明(设计)人：

王俊朝李军阳李学文杜武明

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区高新区凤塘大道星光辉科技园A栋201

IPC主分类号：

C23C1650

IPC分类号：

C23C16448

代理机构：

深圳市深可信专利代理有限公司 44599

代理人：

万永泉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-07	授权	授权
2021-05-07	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/50 登记生效日:20210423 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳丰盛装备股份有限公司变更后权利人:深圳市大族光伏装备有限公司变更事项:地址变更前权利人:518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区高新区凤塘大道星光辉科技园A栋201 变更后权利人:518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路大族激光工业园厂房4栋101

共 50 条

[1]

一种TMA介质的蒸发系统 [P].

王俊朝 ;

李军阳 ;

刘兵吉 ;

杜武明 .

中国专利 :CN210104070U ,2020-02-21

[2]

一种管式PECVD炉TMA供气系统 [P].

李致文 ;

肖四哲 ;

张勇 ;

伍波 .

中国专利 :CN208762574U ,2019-04-19

[3]

一种TMA介质的供给系统 [P].

王俊朝 ;

李军阳 ;

李学文 ;

刘兵吉 .

中国专利 :CN210104072U ,2020-02-21

[4]

一种管式PECVD炉管 [P].

张小明 ;

黎景宇 ;

陈刚 .

中国专利 :CN218372509U ,2023-01-24

[5]

一种管式PECVD结构 [P].

谢明会 ;

赵洪俊 ;

平国庆 ;

何为晋 .

中国专利 :CN207512258U ,2018-06-19

[6]

一种管式PECVD温度控制系统 [P].

李亮 .

中国专利 :CN202711096U ,2013-01-30

[7]

一种管式PECVD的电极机构 [P].

王俊朝 ;

王飞龙 ;

李学文 ;

李军阳 .

中国专利 :CN207967023U ,2018-10-12

[8]

一种管式PECVD的电极机构 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211112212U ,2020-07-28

[9]

一种管式PECVD镀膜装置 [P].

朱金浩 ;

吴国强 ;

许布 ;

刘义德 ;

陈珏荣 .

中国专利 :CN209210921U ,2019-08-06

[10]

一种管式PECVD电极杆 [P].

陈林 ;

孙贤 ;

乔勇 .

中国专利 :CN208829762U ,2019-05-07

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