一种TMA介质的供给系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920715675.2

申请日：

2019-05-16

公开(公告)号：

CN210104072U

公开(公告)日：

2020-02-21

发明(设计)人：

王俊朝李军阳李学文刘兵吉

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区高新区凤塘大道星光辉科技园A栋201

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C16513 H01L3118

代理机构：

深圳市深可信专利代理有限公司 44599

代理人：

万永泉

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-04	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/455 登记生效日:20210421 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳丰盛装备股份有限公司变更后权利人:深圳市大族光伏装备有限公司变更事项:地址变更前权利人:518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区高新区凤塘大道星光辉科技园A栋201 变更后权利人:518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路大族激光工业园厂房4栋101
2020-02-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种TMA介质的蒸发系统 [P].

王俊朝 ;

李军阳 ;

刘兵吉 ;

杜武明 .

中国专利 :CN210104070U ,2020-02-21

[2]

一种向管式PECVD的TMA介质输送系统 [P].

王俊朝 ;

李军阳 ;

李学文 ;

杜武明 .

中国专利 :CN210261990U ,2020-04-07

[3]

一种纯化系统的介质供给装置 [P].

张涛 ;

盛布恩 ;

周国栋 ;

张松 .

中国专利 :CN218046591U ,2022-12-16

[4]

一种肿瘤消融介质的供给系统 [P].

戴静 ;

张洋 ;

高维良 ;

陈懂 ;

黄乾富 .

中国专利 :CN209173201U ,2019-07-30

[5]

一种甲醇厂除盐水供给系统 [P].

高建民 ;

张建强 ;

陈庆峰 .

中国专利 :CN210035082U ,2020-02-07

[6]

一种气体供给系统 [P].

欧武 ;

方芳 ;

朱洪江 ;

闵建国 ;

冯杰超 .

中国专利 :CN222963746U ,2025-06-10

[7]

一种供给缓冲系统 [P].

胡森 ;

廉彬 ;

王雷 .

中国专利 :CN205191219U ,2016-04-27

[8]

一种液相工作介质供应系统 [P].

黄金海 .

中国专利 :CN207814947U ,2018-09-04

[9]

一种用于MOCVD设备的MO源供给系统管路 [P].

张念站 ;

李晓东 ;

崔德国 .

中国专利 :CN203878209U ,2014-10-15

[10]

一种研磨液供给系统 [P].

任少军 .

中国专利 :CN211073205U ,2020-07-24

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