一种研磨液供给系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921910666.5

申请日：

2019-11-07

公开(公告)号：

CN211073205U

公开(公告)日：

2020-07-24

发明(设计)人：

任少军

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室

IPC主分类号：

B24B5702

IPC分类号：

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;胡影

法律状态：

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国省代码：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-24	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨液供给系统 [P].

袁友纪 ;

田野 .

中国专利 :CN217371959U ,2022-09-06

[2]

一种研磨液供给系统 [P].

蒋富有 ;

郭鸿翔 ;

古进忠 .

中国专利 :CN113334245A ,2021-09-03

[3]

一种智能研磨液供给系统 [P].

梁永聪 .

中国专利 :CN205870301U ,2017-01-11

[4]

研磨液配比机台以及研磨液供给系统 [P].

宋林飞 ;

朱海青 .

中国专利 :CN201856169U ,2011-06-08

[5]

研磨液供给装置及化学机械研磨系统 [P].

郭松辉 ;

陆从喜 ;

沈新林 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208801223U ,2019-04-30

[6]

一种研磨液智能供给机构 [P].

熊友乐 ;

刘娟 ;

亚云 ;

刘洋 .

中国专利 :CN221211291U ,2024-06-25

[7]

研磨轮的研磨液供给结构 [P].

廖碧湖 .

中国专利 :CN205148079U ,2016-04-13

[8]

一种基于胶囊的气压尿素液供给系统 [P].

吕季明 ;

廖义德 .

中国专利 :CN213088098U ,2021-04-30

[9]

一种半导体研磨液供给装置 [P].

周晓兆 .

中国专利 :CN216538036U ,2022-05-17

[10]

一种润版液中央供给系统 [P].

陈兴招 ;

陈贤忠 ;

郑芝达 .

中国专利 :CN208615457U ,2019-03-19

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