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一种研磨液智能供给机构
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202322897220.6
申请日
:
2023-10-27
公开(公告)号
:
CN221211291U
公开(公告)日
:
2024-06-25
发明(设计)人
:
熊友乐
刘娟
亚云
刘洋
申请人
:
深圳浩德瑞科技有限公司
申请人地址
:
518000 广东省深圳市龙华区大浪街道高峰社区科伦特低碳产业园A栋6层西侧
IPC主分类号
:
B24B57/02
IPC分类号
:
B01F27/90
B08B9/087
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
授权
国省代码
:
广东省 深圳市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-06-25
授权
授权
共 50 条
[1]
一种智能研磨液供给系统
[P].
梁永聪
论文数:
0
引用数:
0
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0
梁永聪
.
中国专利
:CN205870301U
,2017-01-11
[2]
一种研磨液供给系统
[P].
任少军
论文数:
0
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0
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0
任少军
.
中国专利
:CN211073205U
,2020-07-24
[3]
研磨液供给系统
[P].
袁友纪
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袁友纪
;
田野
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0
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田野
.
中国专利
:CN217371959U
,2022-09-06
[4]
一种钢球研磨液供给回收装置
[P].
张书勇
论文数:
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0
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0
张书勇
.
中国专利
:CN212330718U
,2021-01-12
[5]
一种防研磨液飞溅机构
[P].
宁富生
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0
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机构:
坂口电子机械(上海)有限公司
坂口电子机械(上海)有限公司
宁富生
.
中国专利
:CN222003133U
,2024-11-15
[6]
一种研磨液回流控制机构
[P].
洪志清
论文数:
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机构:
东莞金研精密研磨机械制造有限公司
东莞金研精密研磨机械制造有限公司
洪志清
;
李健飞
论文数:
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机构:
东莞金研精密研磨机械制造有限公司
东莞金研精密研磨机械制造有限公司
李健飞
.
中国专利
:CN222806798U
,2025-04-29
[7]
一种研磨盘供给排污机构
[P].
刘金龙
论文数:
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引用数:
0
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刘金龙
.
中国专利
:CN208020011U
,2018-10-30
[8]
研磨液配比机台以及研磨液供给系统
[P].
宋林飞
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宋林飞
;
朱海青
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朱海青
.
中国专利
:CN201856169U
,2011-06-08
[9]
研磨轮的研磨液供给结构
[P].
廖碧湖
论文数:
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廖碧湖
.
中国专利
:CN205148079U
,2016-04-13
[10]
一种改善研磨液供给流通方法
[P].
赵福见
论文数:
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机构:
上海中欣晶圆半导体科技有限公司
上海中欣晶圆半导体科技有限公司
赵福见
;
刘川
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机构:
上海中欣晶圆半导体科技有限公司
上海中欣晶圆半导体科技有限公司
刘川
;
朱荣飞
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机构:
上海中欣晶圆半导体科技有限公司
上海中欣晶圆半导体科技有限公司
朱荣飞
.
中国专利
:CN121061764A
,2025-12-05
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