一种研磨液回流控制机构

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202421470429.2
申请日
2024-06-26
公开(公告)号
CN222806798U
公开(公告)日
2025-04-29
发明(设计)人
洪志清 李健飞
申请人
东莞金研精密研磨机械制造有限公司
申请人地址
523000 广东省东莞市寮步镇凼坑二路18号1栋
IPC主分类号
B24B57/00
IPC分类号
代理机构
东莞市奥丰知识产权代理事务所(普通合伙) 44424
代理人
吴旭祥
法律状态
授权
国省代码
广东省 东莞市
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共 50 条
[1]
一种晶圆研磨液控制装置 [P]. 
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温鹏飞 ;
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[2]
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冯桂平 ;
何强 ;
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[3]
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亚云 ;
刘洋 .
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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