一种TMA介质的蒸发系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920717405.5

申请日：

2019-05-16

公开(公告)号：

CN210104070U

公开(公告)日：

2020-02-21

发明(设计)人：

王俊朝李军阳刘兵吉杜武明

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区高新区凤塘大道星光辉科技园A栋201

IPC主分类号：

C23C16448

IPC分类号：

C23C16513 H01L3118

代理机构：

深圳市深可信专利代理有限公司 44599

代理人：

万永泉

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-21	授权	授权
2021-05-11	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/448 登记生效日:20210428 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳丰盛装备股份有限公司变更后权利人:深圳市大族光伏装备有限公司变更事项:地址变更前权利人:518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区高新区凤塘大道星光辉科技园A栋201 变更后权利人:518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路大族激光工业园厂房4栋101

共 50 条

[1]

一种向管式PECVD的TMA介质输送系统 [P].

王俊朝 ;

李军阳 ;

李学文 ;

杜武明 .

中国专利 :CN210261990U ,2020-04-07

[2]

一种TMA介质的供给系统 [P].

王俊朝 ;

李军阳 ;

李学文 ;

刘兵吉 .

中国专利 :CN210104072U ,2020-02-21

[3]

一种改进的雾化喷枪及烟道蒸发系统 [P].

陈丕显 ;

朱复海 ;

杜建伟 ;

解传海 .

中国专利 :CN110894083A ,2020-03-20

[4]

一种管式PECVD炉TMA供气系统 [P].

李致文 ;

肖四哲 ;

张勇 ;

伍波 .

中国专利 :CN208762574U ,2019-04-19

[5]

一种液氨蒸发系统 [P].

刘方兵 ;

王文洲 ;

张友尧 ;

邓江城 .

中国专利 :CN205586590U ,2016-09-21

[6]

一种液氨蒸发系统 [P].

刘方兵 ;

王文洲 ;

张友尧 ;

邓江城 .

中国专利 :CN107303437A ,2017-10-31

[7]

一种液氨蒸发系统 [P].

李伟 ;

白清亮 ;

黄叶磊 .

中国专利 :CN209005223U ,2019-06-21

[8]

一种用于液体蒸发的节能蒸发系统 [P].

陈琪 ;

唐斌 .

中国专利 :CN110420471A ,2019-11-08

[9]

一种新型的蒸发系统 [P].

杨春国 ;

张志伟 ;

张凌云 ;

郭小明 ;

刘发银 ;

李向阳 ;

杨文燕 ;

王生德 ;

薛原来 ;

宋海河 .

中国专利 :CN203389350U ,2014-01-15

[10]

一种蒸发系统 [P].

杨伟洋 .

中国专利 :CN111333136A ,2020-06-26

← 1 2 3 4 5 →