一种管式PECVD炉TMA供气系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821130941.7

申请日：

2018-07-17

公开(公告)号：

CN208762574U

公开(公告)日：

2019-04-19

发明(设计)人：

李致文肖四哲张勇伍波

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷（涌鑫工业园）D栋

IPC主分类号：

C23C16448

IPC分类号：

C23C1650

代理机构：

深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247

代理人：

尹彦;胡朝阳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种向管式PECVD的TMA介质输送系统 [P].

王俊朝 ;

李军阳 ;

李学文 ;

杜武明 .

中国专利 :CN210261990U ,2020-04-07

[2]

一种多路独立供气式PECVD供气沉积系统 [P].

王硕 .

中国专利 :CN216550692U ,2022-05-17

[3]

多路独立供气式PECVD供气沉积系统 [P].

石劲超 .

中国专利 :CN202116646U ,2012-01-18

[4]

一种新型真空炉供气排气系统 [P].

刘洋 ;

姜洪斌 ;

李强 .

中国专利 :CN215864581U ,2022-02-18

[5]

一种车用LNG供气系统 [P].

彭育辉 ;

吴智洲 ;

陈祥榛 .

中国专利 :CN207315536U ,2018-05-04

[6]

一种管式PECVD炉管 [P].

张小明 ;

黎景宇 ;

陈刚 .

中国专利 :CN218372509U ,2023-01-24

[7]

一种管式PECVD结构 [P].

谢明会 ;

赵洪俊 ;

平国庆 ;

何为晋 .

中国专利 :CN207512258U ,2018-06-19

[8]

一种管式PECVD温度控制系统 [P].

李亮 .

中国专利 :CN202711096U ,2013-01-30

[9]

一种管式PECVD镀膜装置 [P].

朱金浩 ;

吴国强 ;

许布 ;

刘义德 ;

陈珏荣 .

中国专利 :CN209210921U ,2019-08-06

[10]

一种管式PECVD电极杆 [P].

陈林 ;

孙贤 ;

乔勇 .

中国专利 :CN208829762U ,2019-05-07

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