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多路独立供气式PECVD供气沉积系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201120138077.7
申请日：
2011-05-04
公开(公告)号：
CN202116646U
公开(公告)日：
2012-01-18
发明(设计)人：
石劲超
申请人：
申请人地址：
314512 浙江省嘉兴市桐乡市河山镇工业园
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
代理机构：
上海申汇专利代理有限公司 31001
代理人：
翁若莹
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-16 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20110504 授权公告日:20120118 终止日期:20200504 |
| 2012-01-18 | 授权 | 授权 |