一种管式PECVD炉管

被引：0

申请号：

CN202221421869.X

申请日：

2022-06-02

公开(公告)号：

CN218372509U

公开(公告)日：

2023-01-24

发明(设计)人：

张小明黎景宇陈刚

申请人：

申请人地址：

322009 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1650 C23C1640

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

王建宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种管式PECVD炉管防尘结构 [P].

黄金 ;

李高非 ;

王继磊 ;

白焱辉 ;

张娟 ;

杨骥 ;

高勇 ;

贾慧君 .

中国专利 :CN211227334U ,2020-08-11

[2]

一种管式PECVD的真空反应炉管 [P].

李明 ;

郭艳 ;

吴德轶 ;

张春成 .

中国专利 :CN209537622U ,2019-10-25

[3]

一种用于管式PECVD炉管的清扫设备 [P].

杨洋 ;

薛伟 ;

黄辉巍 .

中国专利 :CN216779728U ,2022-06-21

[4]

一种管式PECVD电极杆 [P].

陈林 ;

孙贤 ;

乔勇 .

中国专利 :CN208829762U ,2019-05-07

[5]

一种管式PECVD特气炉 [P].

刘运宇 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN206188883U ,2017-05-24

[6]

一种管式PECVD防撞设备 [P].

陈辉 ;

胡东明 ;

周天贤 .

中国专利 :CN202226918U ,2012-05-23

[7]

一种管式PECVD石墨舟结构 [P].

黄石明 ;

孙海平 ;

夏正月 ;

张斌 .

中国专利 :CN204857684U ,2015-12-09

[8]

一种管式PECVD上料小车 [P].

沈凯锋 .

中国专利 :CN202107762U ,2012-01-11

[9]

一种管式PECVD净化台设备 [P].

周佑丞 ;

张春成 ;

李晔纯 ;

成秋云 ;

吴得轶 .

中国专利 :CN210974869U ,2020-07-10

[10]

一种管式PECVD的电极机构 [P].

王俊朝 ;

王飞龙 ;

李学文 ;

李军阳 .

中国专利 :CN207967023U ,2018-10-12

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