一种管式PECVD炉管防尘结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921646763.8

申请日：

2019-09-29

公开(公告)号：

CN211227334U

公开(公告)日：

2020-08-11

发明(设计)人：

黄金李高非王继磊白焱辉张娟杨骥高勇贾慧君

申请人：

申请人地址：

030600 山西省晋中市榆次区晋中开发区迎宾西街和田商务楼908室

IPC主分类号：

C23C1650

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

镇江京科专利商标代理有限公司 32107

代理人：

朱坤保

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种管式PECVD炉管 [P].

张小明 ;

黎景宇 ;

陈刚 .

中国专利 :CN218372509U ,2023-01-24

[2]

一种管式PECVD电极杆 [P].

陈林 ;

孙贤 ;

乔勇 .

中国专利 :CN208829762U ,2019-05-07

[3]

一种管式PECVD的真空反应炉管 [P].

李明 ;

郭艳 ;

吴德轶 ;

张春成 .

中国专利 :CN209537622U ,2019-10-25

[4]

一种用于管式PECVD炉管的清扫设备 [P].

杨洋 ;

薛伟 ;

黄辉巍 .

中国专利 :CN216779728U ,2022-06-21

[5]

一种管式PECVD石墨舟结构 [P].

黄石明 ;

孙海平 ;

夏正月 ;

张斌 .

中国专利 :CN204857684U ,2015-12-09

[6]

一种管式PECVD结构 [P].

谢明会 ;

赵洪俊 ;

平国庆 ;

何为晋 .

中国专利 :CN207512258U ,2018-06-19

[7]

一种双舟管式PECVD石墨舟导电结构 [P].

高鑫 ;

张飞 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN218414511U ,2023-01-31

[8]

一种饱和用管式PECVD石墨舟 [P].

俞亚东 ;

党继东 ;

袁中存 .

中国专利 :CN205789903U ,2016-12-07

[9]

一种双面镀膜管式PECVD石墨舟结构 [P].

刘尧章 ;

秦怡 ;

苗晓亮 .

中国专利 :CN117660936A ,2024-03-08

[10]

一种管式PECVD特气炉 [P].

刘运宇 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN206188883U ,2017-05-24

← 1 2 3 4 5 →