一种管式PECVD防撞设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120342974.X

申请日：

2011-09-14

公开(公告)号：

CN202226918U

公开(公告)日：

2012-05-23

发明(设计)人：

陈辉胡东明周天贤

申请人：

申请人地址：

214400 江苏省无锡市江阴市新桥镇工业园区

IPC主分类号：

C23C1650

IPC分类号：

代理机构：

江阴市永兴专利事务所(普通合伙) 32240

代理人：

达晓玲;詹世平

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101536135530 IPC(主分类):C23C 16/50 专利号:ZL201120342974X 申请日:20110914 授权公告日:20120523 终止日期:20120914
2012-05-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种管式PECVD净化台设备 [P].

周佑丞 ;

张春成 ;

李晔纯 ;

成秋云 ;

吴得轶 .

中国专利 :CN210974869U ,2020-07-10

[2]

管式PECVD设备 [P].

王树林 ;

牛富荣 ;

刘金宇 .

中国专利 :CN221480076U ,2024-08-06

[3]

管式PECVD设备 [P].

方结彬 ;

林纲正 ;

赖俊文 ;

何乃林 ;

殷文杰 ;

何达能 ;

陈刚 .

中国专利 :CN206902232U ,2018-01-19

[4]

一种管式PECVD炉管 [P].

张小明 ;

黎景宇 ;

陈刚 .

中国专利 :CN218372509U ,2023-01-24

[5]

一种新型管式PECVD设备 [P].

赵洪俊 ;

宛正 .

中国专利 :CN216473474U ,2022-05-10

[6]

一种管式PECVD电极杆 [P].

陈林 ;

孙贤 ;

乔勇 .

中国专利 :CN208829762U ,2019-05-07

[7]

一种管式PECVD特气炉 [P].

刘运宇 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN206188883U ,2017-05-24

[8]

一种双向进出管式PECVD设备 [P].

朱旭东 ;

史孟杰 .

中国专利 :CN211170884U ,2020-08-04

[9]

一种管式PECVD设备 [P].

陈华伟 ;

王广军 ;

沈杨 ;

张琪虎 ;

潘淑阳 ;

陈兵兵 ;

邓雷 ;

尤朝华 ;

吕海强 .

中国专利 :CN103088320A ,2013-05-08

[10]

一种双向进出管式PECVD设备 [P].

高斌 ;

施文成 ;

李友军 ;

李友萍 .

中国专利 :CN215887226U ,2022-02-22

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