一种管式PECVD上料小车

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120138078.1

申请日：

2011-05-04

公开(公告)号：

CN202107762U

公开(公告)日：

2012-01-11

发明(设计)人：

沈凯锋

申请人：

申请人地址：

314512 浙江省嘉兴市桐乡市河山镇工业园

IPC主分类号：

C23C1600

IPC分类号：

C23C1644

代理机构：

上海申汇专利代理有限公司 31001

代理人：

翁若莹

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-01-11	授权	授权
2021-04-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/00 申请日:20110504 授权公告日:20120111 终止日期:20200504

共 50 条

[1]

管式PECVD石墨舟工艺点上料装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN205790036U ,2016-12-07

[2]

一种地面式上料小车 [P].

卢威 ;

戴泽辉 .

中国专利 :CN210762757U ,2020-06-16

[3]

一种管式PECVD炉管 [P].

张小明 ;

黎景宇 ;

陈刚 .

中国专利 :CN218372509U ,2023-01-24

[4]

一种适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构 [P].

周玉龙 ;

刘景博 ;

王玉明 .

中国专利 :CN212874461U ,2021-04-02

[5]

管式PECVD石墨舟工艺点上料装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN105957922A ,2016-09-21

[6]

管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构 [P].

李长英 ;

陈光 ;

高玉良 .

中国专利 :CN204243016U ,2015-04-01

[7]

一种管式PECVD电极杆 [P].

陈林 ;

孙贤 ;

乔勇 .

中国专利 :CN208829762U ,2019-05-07

[8]

一种管式PECVD特气炉 [P].

刘运宇 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN206188883U ,2017-05-24

[9]

一种管式PECVD防撞设备 [P].

陈辉 ;

胡东明 ;

周天贤 .

中国专利 :CN202226918U ,2012-05-23

[10]

一种无坑式上料小车 [P].

张瑞 ;

王刚 ;

周王桥 ;

陈磊 ;

黎兴宝 ;

王志成 ;

杨建军 .

中国专利 :CN223149854U ,2025-07-25

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