晶圆预热机构及具有其的多工位点胶机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021419016.3

申请日：

2020-07-17

公开(公告)号：

CN213287476U

公开(公告)日：

2021-05-28

发明(设计)人：

郜福亮周典虬林翔史晔鑫曲东升李长峰

申请人：

申请人地址：

213100 江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城哈工大铭赛科技大厦

IPC主分类号：

B05C502

IPC分类号：

B05D302 B05C1302 H01L2167 B05C914

代理机构：

常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409

代理人：

赵旭

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-28	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆预热机构及具有其的多工位点胶机 [P].

郜福亮 ;

周典虬 ;

林翔 ;

史晔鑫 ;

曲东升 ;

李长峰 .

中国专利 :CN111774248A ,2020-10-16

[2]

晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机 [P].

林翔 ;

周典虬 ;

郜福亮 ;

黄国伟 ;

樊建 .

中国专利 :CN213315983U ,2021-06-01

[3]

分区吸附的晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机 [P].

郜福亮 ;

林翔 ;

周典虬 ;

黄国伟 ;

樊建 .

中国专利 :CN212750843U ,2021-03-19

[4]

晶圆加热装置的顶升组件及具有其的多工位点胶机 [P].

林翔 ;

周典虬 ;

黄国伟 ;

郜福亮 .

中国专利 :CN213102961U ,2021-05-04

[5]

高度可调的晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机 [P].

林翔 ;

周典虬 ;

黄国伟 .

中国专利 :CN213103038U ,2021-05-04

[6]

晶圆作业平台及具有其的点胶机 [P].

冒洋洋 ;

林翔 ;

周典虬 ;

郜福亮 ;

樊建 ;

曲东升 ;

李长峰 .

中国专利 :CN212370488U ,2021-01-19

[7]

多工位点胶机的上下料机构及具有其的多工位点胶机 [P].

郜福亮 ;

王晓春 ;

周典虬 ;

林翔 ;

苗虎 ;

黄继明 ;

曲东升 ;

李长峰 .

中国专利 :CN212370490U ,2021-01-19

[8]

晶圆作业平台及具有其的点胶机 [P].

冒洋洋 ;

林翔 ;

周典虬 ;

郜福亮 ;

樊建 ;

曲东升 ;

李长峰 .

中国专利 :CN113828477A ,2021-12-24

[9]

多工位点胶机的上下料机构及具有其的多工位点胶机 [P].

郜福亮 ;

王晓春 ;

周典虬 ;

林翔 ;

苗虎 ;

黄继明 ;

曲东升 ;

李长峰 .

中国专利 :CN113814113A ,2021-12-21

[10]

多工位点胶机的上下料机构及具有其的多工位点胶机 [P].

郜福亮 ;

王晓春 ;

周典虬 ;

林翔 ;

苗虎 ;

黄继明 ;

曲东升 ;

李长峰 .

中国专利 :CN113814113B ,2024-10-15

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