学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

晶圆作业平台及具有其的点胶机

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010694229.5
申请日：
2020-07-17
公开(公告)号：
CN113828477A
公开(公告)日：
2021-12-24
发明(设计)人：
冒洋洋 林翔 周典虬 郜福亮 樊建 曲东升 李长峰
申请人：
申请人地址：
213100 江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城哈工大铭赛科技大厦
IPC主分类号：
B05C502
IPC分类号：
B05D302 B05C1110 B05C1302 H01L2167 B05C914
代理机构：
常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409
代理人：
赵旭
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-12-24 公开 公开
2022-01-11 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B05C 5/02 申请日:20200717
共 50 条
[1]
晶圆作业平台及具有其的点胶机 [P]. 
冒洋洋 ;
林翔 ;
周典虬 ;
郜福亮 ;
樊建 ;
曲东升 ;
李长峰 .
中国专利 :CN212370488U ,2021-01-19
[2]
晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机 [P]. 
林翔 ;
周典虬 ;
郜福亮 ;
黄国伟 ;
樊建 .
中国专利 :CN213315983U ,2021-06-01
[3]
高度可调的晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机 [P]. 
林翔 ;
周典虬 ;
黄国伟 .
中国专利 :CN213103038U ,2021-05-04
[4]
晶圆预热机构及具有其的多工位点胶机 [P]. 
郜福亮 ;
周典虬 ;
林翔 ;
史晔鑫 ;
曲东升 ;
李长峰 .
中国专利 :CN111774248A ,2020-10-16
[5]
晶圆预热机构及具有其的多工位点胶机 [P]. 
郜福亮 ;
周典虬 ;
林翔 ;
史晔鑫 ;
曲东升 ;
李长峰 .
中国专利 :CN213287476U ,2021-05-28
[6]
分区吸附的晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机 [P]. 
郜福亮 ;
林翔 ;
周典虬 ;
黄国伟 ;
樊建 .
中国专利 :CN212750843U ,2021-03-19
[7]
基于晶圆作业平台的高精度恒温点胶机 [P]. 
王业 .
中国专利 :CN216173715U ,2022-04-05
[8]
晶圆加热装置的顶升组件及具有其的多工位点胶机 [P]. 
林翔 ;
周典虬 ;
黄国伟 ;
郜福亮 .
中国专利 :CN213102961U ,2021-05-04
[9]
分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机及晶圆加热方法 [P]. 
周典虬 ;
杨健 ;
郜福亮 ;
林翔 ;
樊建 ;
曲东升 ;
李长峰 .
中国专利 :CN111885755A ,2020-11-03
[10]
作业台和具有其的点胶机 [P]. 
章谦 ;
黄国伟 ;
陈文杰 ;
周典虬 ;
苗虎 ;
郜福亮 ;
樊建 ;
曲东升 ;
李长峰 .
中国专利 :CN212732814U ,2021-03-19
12345