一种低氧铬靶及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210145047.1

申请日：

2022-02-17

公开(公告)号：

CN114182217A

公开(公告)日：

2022-03-15

发明(设计)人：

赵霄昊马宽潘霏霏梁书锦王庆相王晨

申请人：

申请人地址：

710018 陕西省西安市西安经济技术开发区凤城二路45号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B22F500 B22F315

代理机构：

西安新动力知识产权代理事务所(普通合伙) 61245

代理人：

刘强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-15	公开	公开
2022-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20220217

共 50 条

[1]

一种背板绑定的铬靶及其制造方法 [P].

赵霄昊 ;

马宽 ;

王晨 ;

梁书锦 ;

王庆相 .

中国专利 :CN114182218B ,2022-03-15

[2]

铬靶材及其组合的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

王钜宝 .

中国专利 :CN105441881A ,2016-03-30

[3]

磁控溅射铬靶的制造方法 [P].

李华林 ;

刘旭 ;

单秉权 ;

代正平 ;

张玉春 ;

蔡华 ;

张解 .

中国专利 :CN1074843A ,1993-08-04

[4]

一种铝铬硼合金靶材及其制备方法 [P].

姜海 ;

唐培新 ;

吕晓明 ;

姜慧 ;

王瑞刚 ;

许凤志 .

中国专利 :CN110527957A ,2019-12-03

[5]

一种铬旋转靶材的制备方法 [P].

黄宇彬 ;

童培云 .

中国专利 :CN116213703B ,2025-03-28

[6]

铬靶材的制造方法 [P].

姚力军 ;

赵凯 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

袁海军 .

中国专利 :CN104439246A ,2015-03-25

[7]

一种低氧钽靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

黄洁文 .

中国专利 :CN114875369A ,2022-08-09

[8]

铬钼靶坯的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

段高林 .

中国专利 :CN106475567A ,2017-03-08

[9]

一种铬硅化物靶材及其制备方法 [P].

大岩一彦 ;

姚科科 ;

廣田二郎 ;

中村晃 ;

林智行 ;

山田浩 .

中国专利 :CN112144024B ,2020-12-29

[10]

一种靶材及其制造方法 [P].

韩刚 ;

戚延龄 ;

郭若冰 ;

程兴德 ;

韩启航 ;

俞正 .

中国专利 :CN115341185A ,2022-11-15

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