晶圆传送盒

被引：0

申请号：

CN202220115903.4

申请日：

2022-01-17

公开(公告)号：

CN216793638U

公开(公告)日：

2022-06-21

发明(设计)人：

孟凡顺杨伟杰

申请人：

申请人地址：

510700 广东省广州市黄埔区凤凰五路28号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

周修文

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-21	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆传送盒 [P].

吴长安 ;

马力 ;

项敏 ;

郑子企 .

中国专利 :CN221486459U ,2024-08-06

[2]

晶圆传送盒 [P].

王豆 ;

盖晨光 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208433390U ,2019-01-25

[3]

晶圆传送盒 [P].

万贺 ;

方桂芹 ;

黄仁德 .

中国专利 :CN207611759U ,2018-07-13

[4]

存放晶圆的传送盒 [P].

许端格 ;

刘佩宜 .

中国专利 :CN201112362Y ,2008-09-10

[5]

前开式晶圆传送盒 [P].

管式凡 .

中国专利 :CN110071061A ,2019-07-30

[6]

晶圆传送盒存取装置 [P].

朱焱均 ;

陈煜 ;

王尧林 ;

李雨庭 ;

燕强 ;

刘康华 .

中国专利 :CN221977889U ,2024-11-08

[7]

前开式晶圆传送盒 [P].

李闯 ;

喻成虎 ;

袁继超 .

中国专利 :CN216054613U ,2022-03-15

[8]

庄祈龙 ;

许俊 ;

高海林 ;

时寒 .

中国专利 :CN201323191Y ,2009-10-07

[9]

李骞 ;

王海升 ;

陈兴伟 .

中国专利 :CN211208405U ,2020-08-07

[10]

前开式晶圆传输盒及晶圆传送系统 [P].

曾德强 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208111412U ,2018-11-16

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