晶圆传送盒

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721842062.2

申请日：

2017-12-26

公开(公告)号：

CN207611759U

公开(公告)日：

2018-07-13

发明(设计)人：

万贺方桂芹黄仁德

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2168

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;董琳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-13	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆传送盒 [P].

吴长安 ;

马力 ;

项敏 ;

郑子企 .

中国专利 :CN221486459U ,2024-08-06

[2]

晶圆传送盒 [P].

孟凡顺 ;

杨伟杰 .

中国专利 :CN216793638U ,2022-06-21

[3]

晶圆传送盒 [P].

王豆 ;

盖晨光 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208433390U ,2019-01-25

[4]

晶圆传送系统 [P].

周亮 .

中国专利 :CN114334763A ,2022-04-12

[5]

晶圆传送盒用干燥装置 [P].

刘春峰 .

中国专利 :CN220931523U ,2024-05-10

[6]

存放晶圆的传送盒 [P].

许端格 ;

刘佩宜 .

中国专利 :CN201112362Y ,2008-09-10

[7]

晶圆传送盒存取装置 [P].

朱焱均 ;

陈煜 ;

王尧林 ;

李雨庭 ;

燕强 ;

刘康华 .

中国专利 :CN221977889U ,2024-11-08

[8]

前开式晶圆传送盒 [P].

李闯 ;

喻成虎 ;

袁继超 .

中国专利 :CN216054613U ,2022-03-15

[9]

适用于Taiko晶圆的前开式晶圆传送盒 [P].

陆锡坚 ;

张纯 .

中国专利 :CN215514686U ,2022-01-14

[10]

前开式晶圆传输盒及晶圆传送系统 [P].

曾德强 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208111412U ,2018-11-16

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