适用于Taiko晶圆的前开式晶圆传送盒

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120779216.8

申请日：

2021-04-16

公开(公告)号：

CN215514686U

公开(公告)日：

2022-01-14

发明(设计)人：

陆锡坚张纯

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号

IPC主分类号：

B65D2502

IPC分类号：

B65D8548 B65D8586

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

栾美洁

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-14	授权	授权

共 50 条

[1]

前开式晶圆传送盒 [P].

李闯 ;

喻成虎 ;

袁继超 .

中国专利 :CN216054613U ,2022-03-15

[2]

前开式晶圆传输盒及晶圆传送系统 [P].

曾德强 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208111412U ,2018-11-16

[3]

晶圆限制模块和前开式晶圆盒 [P].

李希 .

中国专利 :CN203774270U ,2014-08-13

[4]

晶圆传送盒 [P].

万贺 ;

方桂芹 ;

黄仁德 .

中国专利 :CN207611759U ,2018-07-13

[5]

一种前开式晶圆传送盒 [P].

王征 .

中国专利 :CN222355094U ,2025-01-14

[6]

一种前开式晶圆传送盒 [P].

王征 .

中国专利 :CN222562644U ,2025-03-04

[7]

晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法 [P].

李言彬 ;

杨苏 ;

洪兴峰 ;

李义群 .

中国专利 :CN113192872B ,2021-07-30

[8]

用于前开式晶圆传送盒的机台及储存设备 [P].

王晓侠 ;

蒲浩 .

中国专利 :CN217035605U ,2022-07-22

[9]

晶圆传送盒 [P].

吴长安 ;

马力 ;

项敏 ;

郑子企 .

中国专利 :CN221486459U ,2024-08-06

[10]

晶圆传送盒 [P].

孟凡顺 ;

杨伟杰 .

中国专利 :CN216793638U ,2022-06-21

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