微机械及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710088154.0

申请日：

2007-03-20

公开(公告)号：

CN101041413B

公开(公告)日：

2007-09-26

发明(设计)人：

山口真弓泉小波

申请人：

申请人地址：

日本神奈川

IPC主分类号：

H01L2174

IPC分类号：

H01L2170 H01L21336 H01L2700 B81B100 B81C100

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

王以平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-05-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-12-14	授权	授权
2007-09-26	公开	公开
2020-03-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/74 申请日:20070320 授权公告日:20111214 终止日期:20190320

共 50 条

[1]

微机械装置及其制造方法 [P].

J·克拉森 .

中国专利 :CN101786591B ,2010-07-28

[2]

微机械构件及其制造方法 [P].

罗马·福克 ;

卡拉·希拉 .

德国专利 :CN112469660B ,2025-02-25

[3]

微机械构件及其制造方法 [P].

J·赖因穆特 ;

J·克拉森 .

中国专利 :CN105314589B ,2016-02-10

[4]

微机械结构及其制造方法 [P].

U·施密德 ;

G·德尼弗尔 ;

T·弗里施穆斯 ;

T·格里勒 ;

U·赫德尼格 ;

P·伊尔西格勒 ;

M·卡恩 ;

D·莫勒 ;

M·施奈德 .

中国专利 :CN106185781B ,2016-12-07

[5]

微机械结构及其制造方法 [P].

U·施密德 ;

T·弗里施穆斯 ;

P·伊尔斯格勒 ;

T·格里勒 ;

D·莫勒 ;

U·赫德尼格 ;

M·卡恩 ;

G·德尼弗尔 .

中国专利 :CN105314587B ,2016-02-10

[6]

微机械组件及其制造方法 [P].

J·赖因穆特 ;

M·赛特勒 ;

S·魏斯 ;

A·赫希斯特 .

中国专利 :CN102106161B ,2011-06-22

[7]

微机械构件及其制造方法 [P].

A·法伊 .

中国专利 :CN102164848A ,2011-08-24

[8]

微机械构件及其制造方法 [P].

罗马·福克 ;

卡拉·希拉 .

中国专利 :CN112469660A ,2021-03-09

[9]

微机械装置及其设计方法 [P].

米卡·普伦尼拉 ;

安特尔·亚科拉 ;

托马斯·彭萨拉 .

中国专利 :CN103650343A ,2014-03-19

[10]

微机械结构元件及其制造方法 [P].

S·平特 ;

J·弗里茨 .

中国专利 :CN101939252A ,2011-01-05

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