微机械结构元件及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880126177.9

申请日：

2008-11-21

公开(公告)号：

CN101939252A

公开(公告)日：

2011-01-05

发明(设计)人：

S·平特 J·弗里茨

申请人：

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

B81B700

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

侯鸣慧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-03-13	授权	授权
2011-01-05	公开	公开
2011-06-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101077089639 IPC(主分类):B81B 7/00 专利申请号:2008801261779 申请日:20081121

共 50 条

[1]

微机械结构元件和用于制造微机械结构元件的方法 [P].

H·本泽尔 ;

C·谢林 .

中国专利 :CN102190280A ,2011-09-21

[2]

微机械结构元件和用于制造微机械结构元件的方法 [P].

J·弗莱 ;

J·赖因穆特 .

中国专利 :CN104422436A ,2015-03-18

[3]

用于制造微机械结构元件的方法 [P].

J·克拉森 ;

J·赖因穆特 ;

J-P·施塔德勒 ;

A·布赖特林 .

中国专利 :CN108367913A ,2018-08-03

[4]

用于制造微机械结构元件的方法 [P].

J·贡斯卡 ;

J·赖因穆特 ;

M·阿梅托沃布拉 .

中国专利 :CN106458574A ,2017-02-22

[5]

制造微机械元件的方法 [P].

R·范坎蓬 ;

C·G·史密斯 ;

J·罗 ;

A·J·维克斯 .

中国专利 :CN1798696A ,2006-07-05

[6]

微机械结构元件 [P].

A·布莱特林 ;

C·施文克 ;

H·屈佩尔斯 ;

N·席滕黑尔姆 ;

V·施米茨 .

中国专利 :CN107720686B ,2018-02-23

[7]

微机械结构元件 [P].

J·克拉森 ;

L·格格 .

德国专利 :CN111186810B ,2024-03-15

[8]

微机械结构元件 [P].

J·克拉森 .

中国专利 :CN106744666B ,2017-05-31

[9]

微机械结构元件 [P].

J·克拉森 ;

L·格格 .

中国专利 :CN111186810A ,2020-05-22

[10]

微机械元件和制造微机械元件的方法 [P].

沃尔弗拉姆·盖格 ;

尤维·布伦格 .

中国专利 :CN101142137A ,2008-03-12

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