微机械结构元件和用于制造微机械结构元件的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410418243.7

申请日：

2014-08-22

公开(公告)号：

CN104422436A

公开(公告)日：

2015-03-18

发明(设计)人：

J·弗莱 J·赖因穆特

申请人：

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

G01C195769

IPC分类号：

G01C195733 B81B702 B81C100 B81B300

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

侯鸣慧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101681678758 IPC(主分类):G01C 19/5769 专利申请号:2014104182437 申请日:20140822
2015-03-18	公开	公开
2019-02-26	授权	授权

共 50 条

[1]

微机械结构元件和用于制造微机械结构元件的方法 [P].

H·本泽尔 ;

C·谢林 .

中国专利 :CN102190280A ,2011-09-21

[2]

微机械结构元件和用于运行微机械结构元件的方法 [P].

L·特伯杰 ;

F·本尼尼 ;

W·菲尔斯特 .

中国专利 :CN101842709A ,2010-09-22

[3]

微机械结构元件和用于运行微机械结构元件的方法 [P].

J·克拉森 ;

L·特杰 .

中国专利 :CN102016603B ,2011-04-13

[4]

用于制造微机械元件的方法和微机械结构 [P].

M·库恩克 ;

H·施塔尔 ;

S·马约尼 .

中国专利 :CN109553064A ,2019-04-02

[5]

微机械结构元件和用于微机械结构元件的相应检查方法 [P].

S·赖斯 ;

S·安布鲁斯特 ;

H·格鲁特杰克 ;

J·穆霍 ;

F·N·恩吉蒙齐 ;

J·巴德尔 ;

R·施特劳布 ;

W·海因策尔曼 .

中国专利 :CN104418293B ,2015-03-18

[6]

微机械元件和微机械元件的制造方法 [P].

J·贡斯卡 ;

J·弗莱 ;

H·韦伯 ;

T·沙里 ;

T·迈尔 .

中国专利 :CN103420323A ,2013-12-04

[7]

微机械元件和制造微机械元件的方法 [P].

沃尔弗拉姆·盖格 ;

尤维·布伦格 .

中国专利 :CN101142137A ,2008-03-12

[8]

用于制造微机械结构元件的方法 [P].

J·克拉森 ;

J·赖因穆特 ;

J-P·施塔德勒 ;

A·布赖特林 .

中国专利 :CN108367913A ,2018-08-03

[9]

用于制造微机械结构元件的方法 [P].

J·贡斯卡 ;

J·赖因穆特 ;

M·阿梅托沃布拉 .

中国专利 :CN106458574A ,2017-02-22

[10]

微机械结构元件 [P].

A·布莱特林 ;

C·施文克 ;

H·屈佩尔斯 ;

N·席滕黑尔姆 ;

V·施米茨 .

中国专利 :CN107720686B ,2018-02-23

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