微机械元件和微机械元件的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310296384.1

申请日：

2013-04-22

公开(公告)号：

CN103420323A

公开(公告)日：

2013-12-04

发明(设计)人：

J·贡斯卡 J·弗莱 H·韦伯 T·沙里 T·迈尔

申请人：

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

B81B700

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

曾立

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-04	公开	公开
2018-12-28	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B81B 7/00 申请公布日:20131204
2015-06-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101612155254 IPC(主分类):B81B 7/00 专利申请号:2013102963841 申请日:20130422

共 50 条

[1]

微机械元件和制造微机械元件的方法 [P].

沃尔弗拉姆·盖格 ;

尤维·布伦格 .

中国专利 :CN101142137A ,2008-03-12

[2]

微机械元件、具有微机械元件的部件和用于制造部件的方法 [P].

S·甘特奈尔 ;

B·施密德 .

中国专利 :CN104024144A ,2014-09-03

[3]

用于制造微机械元件的方法和微机械结构 [P].

M·库恩克 ;

H·施塔尔 ;

S·马约尼 .

中国专利 :CN109553064A ,2019-04-02

[4]

微机械的元件以及用于制造微机械的元件的方法 [P].

T·布克 ;

M·斯图姆贝尔 .

中国专利 :CN102015523B ,2011-04-13

[5]

制造微机械元件的方法 [P].

R·范坎蓬 ;

C·G·史密斯 ;

J·罗 ;

A·J·维克斯 .

中国专利 :CN1798696A ,2006-07-05

[6]

微机械结构元件和用于制造微机械结构元件的方法 [P].

H·本泽尔 ;

C·谢林 .

中国专利 :CN102190280A ,2011-09-21

[7]

微机械结构元件和用于制造微机械结构元件的方法 [P].

J·弗莱 ;

J·赖因穆特 .

中国专利 :CN104422436A ,2015-03-18

[8]

微机械元件 [P].

凯文·史密斯 ;

约瑟夫·塞菲 ;

朱利安·沙普利 ;

彼得·马蒂诺 .

中国专利 :CN1653274A ,2005-08-10

[9]

用于微机械元件的加工方法和相应的微机械元件 [P].

F.霍伊克 ;

C.舍林 .

中国专利 :CN105050941A ,2015-11-11

[10]

微机械结构元件和用于运行微机械结构元件的方法 [P].

J·克拉森 ;

L·特杰 .

中国专利 :CN102016603B ,2011-04-13

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