微机械元件、具有微机械元件的部件和用于制造部件的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280065850.9

申请日：

2012-11-02

公开(公告)号：

CN104024144A

公开(公告)日：

2014-09-03

发明(设计)人：

S·甘特奈尔 B·施密德

申请人：

申请人地址：

德国法兰克福

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

B81C100 G01D512

代理机构：

北京市中咨律师事务所 11247

代理人：

殷玲;吴鹏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-09-28	授权	授权
2014-10-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587254405 IPC(主分类):B81B 7/02 专利申请号:2012800658509 申请日:20121102
2014-09-03	公开	公开

共 50 条

[1]

微机械元件和微机械元件的制造方法 [P].

J·贡斯卡 ;

J·弗莱 ;

H·韦伯 ;

T·沙里 ;

T·迈尔 .

中国专利 :CN103420323A ,2013-12-04

[2]

微机械元件和制造微机械元件的方法 [P].

沃尔弗拉姆·盖格 ;

尤维·布伦格 .

中国专利 :CN101142137A ,2008-03-12

[3]

用于制造微机械元件的方法和微机械结构 [P].

M·库恩克 ;

H·施塔尔 ;

S·马约尼 .

中国专利 :CN109553064A ,2019-04-02

[4]

微机械的元件以及用于制造微机械的元件的方法 [P].

T·布克 ;

M·斯图姆贝尔 .

中国专利 :CN102015523B ,2011-04-13

[5]

微机械结构元件和用于制造微机械结构元件的方法 [P].

H·本泽尔 ;

C·谢林 .

中国专利 :CN102190280A ,2011-09-21

[6]

微机械结构元件和用于制造微机械结构元件的方法 [P].

J·弗莱 ;

J·赖因穆特 .

中国专利 :CN104422436A ,2015-03-18

[7]

用于微机械元件的加工方法和相应的微机械元件 [P].

F.霍伊克 ;

C.舍林 .

中国专利 :CN105050941A ,2015-11-11

[8]

用于制造微机械结构的方法以及具有该微机械结构的元件 [P].

U·汉森 ;

S·舒勒·瓦特金斯 .

中国专利 :CN106276780A ,2017-01-04

[9]

微机械结构元件和用于运行微机械结构元件的方法 [P].

J·克拉森 ;

L·特杰 .

中国专利 :CN102016603B ,2011-04-13

[10]

制造微机械元件的方法 [P].

R·范坎蓬 ;

C·G·史密斯 ;

J·罗 ;

A·J·维克斯 .

中国专利 :CN1798696A ,2006-07-05

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