用于制造微机械结构的方法以及具有该微机械结构的元件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610481536.9

申请日：

2016-06-27

公开(公告)号：

CN106276780A

公开(公告)日：

2017-01-04

发明(设计)人：

U·汉森 S·舒勒·瓦特金斯

申请人：

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81B300 B81B702 G01D1100

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

侯鸣慧

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B81C 1/00 申请公布日:20170104
2017-01-04	公开	公开

共 50 条

[1]

用于制造微机械元件的方法和微机械结构 [P].

M·库恩克 ;

H·施塔尔 ;

S·马约尼 .

中国专利 :CN109553064A ,2019-04-02

[2]

用于制造微机械结构的方法和微机械结构 [P].

J·克拉森 ;

J·莱茵穆特 ;

S·京特 ;

P·布斯蒂安-托多罗娃 .

中国专利 :CN102951601B ,2013-03-06

[3]

用于制造微机械结构元件的方法 [P].

J·克拉森 ;

J·赖因穆特 ;

J-P·施塔德勒 ;

A·布赖特林 .

中国专利 :CN108367913A ,2018-08-03

[4]

微机械结构和制造微机械结构的方法 [P].

苏迪兰赞·特里帕斯 ;

维克纳什·s/o·莎姆伽纳赞 .

中国专利 :CN101583559B ,2009-11-18

[5]

微机械的元件以及用于制造微机械的元件的方法 [P].

T·布克 ;

M·斯图姆贝尔 .

中国专利 :CN102015523B ,2011-04-13

[6]

微机械结构元件和用于制造微机械结构元件的方法 [P].

H·本泽尔 ;

C·谢林 .

中国专利 :CN102190280A ,2011-09-21

[7]

微机械结构元件和用于制造微机械结构元件的方法 [P].

J·弗莱 ;

J·赖因穆特 .

中国专利 :CN104422436A ,2015-03-18

[8]

微机械热结构和制造该微机械结构的方法 [P].

D·J·布罗尔 ;

G·N·莫尔 ;

C·M·R·德维茨 .

中国专利 :CN1729086B ,2006-02-01

[9]

微机械元件和微机械元件的制造方法 [P].

J·贡斯卡 ;

J·弗莱 ;

H·韦伯 ;

T·沙里 ;

T·迈尔 .

中国专利 :CN103420323A ,2013-12-04

[10]

用于制造微机械结构的方法和微机械结构 [P].

A·乌尔班 ;

J·赖因穆特 ;

L·富克斯 ;

T·弗里德里希 .

中国专利 :CN113548637A ,2021-10-26

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