微机械结构元件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710680047.0

申请日：

2017-08-10

公开(公告)号：

CN107720686B

公开(公告)日：

2018-02-23

发明(设计)人：

A·布莱特林 C·施文克 H·屈佩尔斯 N·席滕黑尔姆 V·施米茨

申请人：

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

B81B700

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

侯鸣慧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/00 申请日:20170810
2018-02-23	公开	公开
2022-12-06	授权	授权

共 50 条

[1]

微机械结构元件 [P].

J·克拉森 ;

L·格格 .

德国专利 :CN111186810B ,2024-03-15

[2]

微机械结构元件 [P].

J·克拉森 .

中国专利 :CN106744666B ,2017-05-31

[3]

微机械结构元件 [P].

J·克拉森 ;

L·格格 .

中国专利 :CN111186810A ,2020-05-22

[4]

微机械结构元件和用于运行微机械结构元件的方法 [P].

L·特伯杰 ;

F·本尼尼 ;

W·菲尔斯特 .

中国专利 :CN101842709A ,2010-09-22

[5]

微机械结构元件和用于制造微机械结构元件的方法 [P].

H·本泽尔 ;

C·谢林 .

中国专利 :CN102190280A ,2011-09-21

[6]

微机械结构元件和用于制造微机械结构元件的方法 [P].

J·弗莱 ;

J·赖因穆特 .

中国专利 :CN104422436A ,2015-03-18

[7]

微机械结构元件和用于运行微机械结构元件的方法 [P].

J·克拉森 ;

L·特杰 .

中国专利 :CN102016603B ,2011-04-13

[8]

微机械结构元件和用于微机械结构元件的相应检查方法 [P].

S·赖斯 ;

S·安布鲁斯特 ;

H·格鲁特杰克 ;

J·穆霍 ;

F·N·恩吉蒙齐 ;

J·巴德尔 ;

R·施特劳布 ;

W·海因策尔曼 .

中国专利 :CN104418293B ,2015-03-18

[9]

微机械结构元件及其制造方法 [P].

S·平特 ;

J·弗里茨 .

中国专利 :CN101939252A ,2011-01-05

[10]

微机械元件 [P].

凯文·史密斯 ;

约瑟夫·塞菲 ;

朱利安·沙普利 ;

彼得·马蒂诺 .

中国专利 :CN1653274A ,2005-08-10

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