一种用于扩散工序的源瓶

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621006820.2

申请日：

2016-08-30

公开(公告)号：

CN206070044U

公开(公告)日：

2017-04-05

发明(设计)人：

程芳缪乾邱军辉王雪亮陆佳罗茂盛张俊鹏

申请人：

申请人地址：

214400 江苏省无锡市江阴市新桥镇新杨路15号

IPC主分类号：

C30B3116

IPC分类号：

代理机构：

北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350

代理人：

汤东凤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-04-05	授权	授权
2019-08-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 31/16 申请日:20160830 授权公告日:20170405 终止日期:20180830

共 50 条

[1]

用于扩散工序的源瓶 [P].

邱军辉 ;

缪乾 ;

王雪亮 ;

程芳 ;

陆佳 ;

罗茂盛 ;

张俊鹏 .

中国专利 :CN206109599U ,2017-04-19

[2]

一种用于扩散工序的源瓶 [P].

邱军辉 ;

缪乾 ;

王雪亮 ;

程芳 ;

陆佳 ;

罗茂盛 ;

张俊鹏 .

中国专利 :CN206109600U ,2017-04-19

[3]

一种用于太阳能电池扩散工序的源瓶 [P].

王雪亮 ;

邱军辉 ;

程芳 ;

缪乾 ;

陆佳 ;

罗茂盛 ;

张俊鹏 .

中国专利 :CN206070045U ,2017-04-05

[4]

一种用于扩散工艺的源瓶 [P].

鲁科 ;

杨斌 .

中国专利 :CN201804844U ,2011-04-20

[5]

一种用于扩散工艺的防爆源瓶 [P].

方智 ;

王庆钱 .

中国专利 :CN202849593U ,2013-04-03

[6]

一种用于扩散工艺的防爆源瓶 [P].

方智 ;

王庆钱 .

中国专利 :CN102851742A ,2013-01-02

[7]

扩散工艺用石英源瓶 [P].

兰锋 .

中国专利 :CN213816065U ,2021-07-27

[8]

一种用于扩散的源瓶 [P].

张春华 ;

周剑 ;

党继东 ;

费正洪 ;

向宏伟 ;

李栋 ;

高文丽 ;

孟祥熙 ;

辛国军 ;

章灵军 .

中国专利 :CN202473853U ,2012-10-03

[9]

一种用于扩散工序的石英舟 [P].

邱军辉 ;

缪乾 ;

王雪亮 ;

程芳 ;

陆佳 ;

罗茂盛 ;

张俊鹏 .

中国专利 :CN206076268U ,2017-04-05

[10]

一种太阳能电池扩散工序用快拆式源瓶接头装置 [P].

葛照峰 ;

吴绍波 ;

许康 ;

胡文化 ;

马太平 .

中国专利 :CN221117722U ,2024-06-11

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