一种用于扩散工艺的源瓶

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201020262172.3
申请日
2010-07-13
公开(公告)号
CN201804844U
公开(公告)日
2011-04-20
发明(设计)人
鲁科 杨斌
申请人
申请人地址
214028 江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17-6号
IPC主分类号
H01L2100
IPC分类号
H01L3118
代理机构
北京金信立方知识产权代理有限公司 11225
代理人
黄威;廉振保
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种用于扩散工艺的防爆源瓶 [P]. 
方智 ;
王庆钱 .
中国专利 :CN202849593U ,2013-04-03
[2]
扩散工艺用石英源瓶 [P]. 
兰锋 .
中国专利 :CN213816065U ,2021-07-27
[3]
一种用于扩散工艺的防爆源瓶 [P]. 
方智 ;
王庆钱 .
中国专利 :CN102851742A ,2013-01-02
[4]
一种用于纸源立式扩散工艺的扩散舟 [P]. 
梁效峰 ;
韩璐 ;
刘玉涛 ;
王晓捧 ;
谷月清 ;
邢立勋 ;
陈澄 ;
李亚哲 .
中国专利 :CN205406500U ,2016-07-27
[5]
一种扩散工艺用扩散炉 [P]. 
邹大恒 ;
张圣尧 ;
赵帅 .
中国专利 :CN222613545U ,2025-03-14
[6]
用于扩散工序的源瓶 [P]. 
邱军辉 ;
缪乾 ;
王雪亮 ;
程芳 ;
陆佳 ;
罗茂盛 ;
张俊鹏 .
中国专利 :CN206109599U ,2017-04-19
[7]
一种用于扩散工序的源瓶 [P]. 
邱军辉 ;
缪乾 ;
王雪亮 ;
程芳 ;
陆佳 ;
罗茂盛 ;
张俊鹏 .
中国专利 :CN206109600U ,2017-04-19
[8]
一种用于扩散工序的源瓶 [P]. 
程芳 ;
缪乾 ;
邱军辉 ;
王雪亮 ;
陆佳 ;
罗茂盛 ;
张俊鹏 .
中国专利 :CN206070044U ,2017-04-05
[9]
扩散工艺中用于涂覆扩散源的装置 [P]. 
黄建伟 ;
刘国友 ;
邹冰艳 ;
王大江 ;
潘昭海 .
中国专利 :CN101275283A ,2008-10-01
[10]
一种扩散源及晶界扩散工艺 [P]. 
汤进 ;
邢雨晴 ;
童华承 ;
廖文晨 ;
李仕林 .
中国专利 :CN119296949A ,2025-01-10