一种扩散工艺用扩散炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421074787.1

申请日：

2024-05-17

公开(公告)号：

CN222613545U

公开(公告)日：

2025-03-14

发明(设计)人：

邹大恒张圣尧赵帅

申请人：

江苏龙恒新能源有限公司

申请人地址：

223800 江苏省宿迁市经济技术开发区上海路1299号

IPC主分类号：

C30B31/10

IPC分类号：

C30B31/16 C30B31/18 C30B29/06 H10F71/00

代理机构：

南京启冠智兴知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32659

代理人：

孙运鑫

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省宿迁市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	授权	授权

共 50 条

[1]

低压扩散炉低压扩散工艺 [P].

张育 .

中国专利 :CN109285766B ,2019-01-29

[2]

扩散工艺用石英源瓶 [P].

兰锋 .

中国专利 :CN213816065U ,2021-07-27

[3]

一种改善硅片表面扩散工艺的扩散机构 [P].

王天齐 ;

梁立成 ;

彭锐超 ;

罗显凯 .

中国专利 :CN216864384U ,2022-07-01

[4]

扩散炉及光伏电池扩散工艺装置 [P].

张玉 ;

丁志强 ;

丁留伟 ;

王榕 ;

唐浩 ;

彭云 ;

胡俊龙 .

中国专利 :CN220318042U ,2024-01-09

[5]

一种低温扩散工艺研究 [P].

刘汉清 .

中国专利 :CN104300035A ,2015-01-21

[6]

一种链式扩散工艺 [P].

吴俊旻 ;

张鹏 ;

常青 ;

谢耀辉 ;

张冠纶 .

中国专利 :CN109037044A ,2018-12-18

[7]

一种用于扩散工艺的源瓶 [P].

鲁科 ;

杨斌 .

中国专利 :CN201804844U ,2011-04-20

[8]

预沉积工艺、扩散工艺及扩散设备 [P].

张彦召 ;

白志民 .

中国专利 :CN104250725A ,2014-12-31

[9]

降温推结扩散工艺 [P].

郭建东 ;

樊选东 ;

钱明星 ;

关统州 .

中国专利 :CN104752567A ,2015-07-01

[10]

一种开管铝镓扩散工艺 [P].

林玉松 ;

刘秀喜 ;

高大江 .

中国专利 :CN1036101C ,1991-12-25

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