一种改善硅片表面扩散工艺的扩散机构

被引：0

申请号：

CN202220345111.6

申请日：

2022-02-21

公开(公告)号：

CN216864384U

公开(公告)日：

2022-07-01

发明(设计)人：

王天齐梁立成彭锐超罗显凯

申请人：

申请人地址：

221122 江苏省徐州市徐州经济技术开发区高新路29号300MW多晶铸锭、线锯、电池片、组件3号楼1-101

IPC主分类号：

C30B3110

IPC分类号：

C30B3116 C30B2906 H01L3118

代理机构：

无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙) 32569

代理人：

陈勤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种扩散工艺用扩散炉 [P].

邹大恒 ;

张圣尧 ;

赵帅 .

中国专利 :CN222613545U ,2025-03-14

[2]

一种大尺寸硅片扩散工艺 [P].

何秋霞 ;

朱军 ;

杨韦 ;

马擎天 .

中国专利 :CN113078234A ,2021-07-06

[3]

多晶硅片的磷扩散工艺 [P].

顾峰 .

中国专利 :CN102347222A ,2012-02-08

[4]

一种硅片的磷吸杂扩散工艺 [P].

曹江伟 ;

杨晓琴 ;

张广路 ;

蒋洋洋 .

中国专利 :CN105185870A ,2015-12-23

[5]

一种降低硅片体内复合的新型扩散工艺 [P].

钱小芳 .

中国专利 :CN106783561A ,2017-05-31

[6]

一种改善刻蚀后硅片外观的扩散工艺 [P].

朱金浩 .

中国专利 :CN103618031A ,2014-03-05

[7]

一种单晶硅片扩散工艺 [P].

倪金乐 ;

李建飞 ;

吴永前 ;

吴杨 ;

刘胜 ;

严前程 .

中国专利 :CN118471794A ,2024-08-09

[8]

扩散工艺篮具内成组硅片的托起机构 [P].

陈嘉荣 ;

卫晓冲 ;

杜虎明 ;

岳军 ;

吕沫 ;

戎有兰 ;

折飞 ;

王鹏鹏 ;

张奇巍 ;

姜志艳 .

中国专利 :CN210628275U ,2020-05-26

[9]

一种调节扩散气氛的一次扩散工艺 [P].

黄志焕 ;

李亚哲 ;

梁效峰 ;

王浩 ;

徐长坡 ;

陈澄 ;

杨玉聪 ;

王晓捧 .

中国专利 :CN109755113A ,2019-05-14

[10]

低压扩散炉低压扩散工艺 [P].

张育 .

中国专利 :CN109285766B ,2019-01-29

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