基于拉曼光谱测试技术的半导体薄膜热导率分析方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810667559.8

申请日：

2018-06-26

公开(公告)号：

CN109060759B

公开(公告)日：

2018-12-21

发明(设计)人：

郭怀新李忠辉尹志军陈堂胜

申请人：

申请人地址：

210016 江苏省南京市中山东路524号

IPC主分类号：

G01N2165

IPC分类号：

G01N2520

代理机构：

南京理工大学专利中心 32203

代理人：

陈鹏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/65 申请日:20180626
2021-06-08	授权	授权
2018-12-21	公开	公开

共 50 条

[1]

基于泵浦探测拉曼光谱的半导体导热系数测试方法和装置 [P].

邵军 ;

陈熙仁 ;

刘浩然 .

中国专利 :CN116297399B ,2025-09-12

[2]

基于红外热成像法的薄膜热导率分析方法 [P].

郭怀新 ;

孔月婵 ;

陈堂胜 .

中国专利 :CN109001250A ,2018-12-14

[3]

一种基于表面增强拉曼光谱技术的泪液测试方法 [P].

李炜 ;

任斌 ;

张丽颖 ;

胡佩 ;

邹笃雷 ;

刘祖国 .

中国专利 :CN103604794A ,2014-02-26

[4]

基于级联光谱仪的拉曼光谱测试系统及其测试方法 [P].

罗湘雯 ;

朱剑 ;

马晖 ;

储瑞巍 ;

邹佳宁 .

中国专利 :CN118483211A ,2024-08-13

[5]

基于级联光谱仪的拉曼光谱测试系统及其测试方法 [P].

罗湘雯 ;

朱剑 ;

马晖 ;

储瑞巍 ;

邹佳宁 .

中国专利 :CN118483211B ,2025-01-28

[6]

导体薄膜热导率的测试装置 [P].

许高斌 ;

黄庆安 .

中国专利 :CN1445535A ,2003-10-01

[7]

一种基于拉曼散射的应力作用下薄膜材料热导率的测量方法 [P].

毕可东 ;

赵伟玮 ;

陈伟宇 ;

倪振华 ;

陈云飞 .

中国专利 :CN103776814A ,2014-05-07

[8]

基于拉曼光谱的涂层损伤演化分析方法 [P].

齐建涛 ;

刘永豪 ;

卞贵学 ;

朱永强 ;

王寒冰 ;

安洋 ;

杨玉龙 ;

张馨怡 .

中国专利 :CN119985434A ,2025-05-13

[9]

基于拉曼光谱的涂层损伤演化分析方法 [P].

齐建涛 ;

刘永豪 ;

卞贵学 ;

朱永强 ;

王寒冰 ;

安洋 ;

杨玉龙 ;

张馨怡 .

中国专利 :CN119985434B ,2025-11-28

[10]

基于拉曼光谱的颗粒检测分析系统及方法 [P].

罗先刚 ;

张涛 ;

高平 ;

岳伟生 ;

蒲明博 ;

李雄 .

中国专利 :CN114152547A ,2022-03-08

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