基于泵浦探测拉曼光谱的半导体导热系数测试方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310284067.1

申请日：

2023-03-22

公开(公告)号：

CN116297399B

公开(公告)日：

2025-09-12

发明(设计)人：

邵军陈熙仁刘浩然

申请人：

中国科学院上海技术物理研究所

申请人地址：

200083 上海市虹口区玉田路500号

IPC主分类号：

G01N21/65

IPC分类号：

G01N25/20

代理机构：

上海沪慧律师事务所 31311

代理人：

郭英

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-12	授权	授权

共 50 条

[1]

基于拉曼光谱测试技术的半导体薄膜热导率分析方法 [P].

郭怀新 ;

李忠辉 ;

尹志军 ;

陈堂胜 .

中国专利 :CN109060759B ,2018-12-21

[2]

一种半导体泵浦金刚石拉曼激光光谱/时序合成装置 [P].

薄勇 ;

申玉 ;

彭钦军 ;

李海东 .

中国专利 :CN116345289B ,2025-11-25

[3]

拉曼光谱测试装置和拉曼光谱检测设备 [P].

汪峰 ;

肖嘉 ;

郑罡 .

中国专利 :CN114354575A ,2022-04-15

[4]

用于非接触检测半导体衬底温度的拉曼光谱方法和装置 [P].

邵军 ;

王炜 ;

陈熙仁 .

中国专利 :CN110779633A ,2020-02-11

[5]

用于非接触检测半导体衬底温度的拉曼光谱方法和装置 [P].

邵军 ;

王炜 ;

陈熙仁 .

中国专利 :CN110779633B ,2025-01-24

[6]

基于热电半导体的导热系数自动测量装置 [P].

黄耀雄 ;

王启银 ;

王晓强 ;

赵锐 ;

郭鹏飞 ;

王旭 ;

李增强 ;

党世昉 .

中国专利 :CN203534994U ,2014-04-09

[7]

单泵多波长激射的半导体拉曼泵浦激光器及泵浦合波装置 [P].

卜勤练 ;

邹晓慧 .

中国专利 :CN102593714A ,2012-07-18

[8]

用于半导体泵浦老化拷机测试的装置 [P].

费华 ;

卢昆忠 .

中国专利 :CN214622906U ,2021-11-05

[9]

基于拉曼光谱的定量探测方法及系统 [P].

夏志鹏 ;

吴姣 ;

杨锋 ;

吕一鸣 .

中国专利 :CN119290845A ,2025-01-10

[10]

导热系数估计方法、导热系数估计装置、半导体晶体制品的制造方法、导热系数运算装置、导热系数运算程序以及导热系数运算方法 [P].

横山龙介 ;

藤原俊幸 ;

樋口雄介 ;

宇治原彻 .

日本专利 :CN113366303B ,2024-06-11

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