用于非接触检测半导体衬底温度的拉曼光谱方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911093693.2

申请日：

2019-11-11

公开(公告)号：

CN110779633B

公开(公告)日：

2025-01-24

发明(设计)人：

邵军王炜陈熙仁

申请人：

中国科学院上海技术物理研究所

申请人地址：

200083 上海市虹口区玉田路500号

IPC主分类号：

G01K11/00

IPC分类号：

G01N21/65 G01J3/02 G01J3/44

代理机构：

上海沪慧律师事务所 31311

代理人：

郭英

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-24	授权	授权

共 50 条

[1]

用于非接触检测半导体衬底温度的拉曼光谱方法和装置 [P].

邵军 ;

王炜 ;

陈熙仁 .

中国专利 :CN110779633A ,2020-02-11

[2]

一种非接触测量气体成分和温度的拉曼光谱装置及方法 [P].

杨德旺 ;

王勇梅 ;

李文华 ;

刘福祥 ;

蔺楚尧 ;

何启民 .

中国专利 :CN119198679A ,2024-12-27

[3]

拉曼光谱检测设备和拉曼光谱检测方法 [P].

王红球 ;

左佳倩 ;

刘海辉 .

中国专利 :CN107991283A ,2018-05-04

[4]

确定半导体衬底温度的方法和装置 [P].

斯丹·科尔迪克 ;

麦因迪特·M·鲁宁伯格 ;

让-菲利普·雅克曼 .

中国专利 :CN101427116B ,2009-05-06

[5]

拉曼光谱检测设备和拉曼光谱检测设备的安全监控方法 [P].

张建红 ;

王安凯 ;

王红球 ;

范锐 ;

奉华成 .

中国专利 :CN106770176A ,2017-05-31

[6]

用于检测半导体衬底厚度的装置和方法 [P].

安德烈亚斯·伯纳德斯·玛丽亚·扬斯曼 ;

弗朗西斯科斯·皮特鲁斯·韦德索文 ;

维特·桑迪·恩 .

中国专利 :CN107871676A ,2018-04-03

[7]

用于在半导体衬底上构造接触部的方法和半导体装置 [P].

T·辛纳 ;

M·格里布 .

中国专利 :CN104170062A ,2014-11-26

[8]

拉曼光谱检测设备和方法 [P].

刘海辉 ;

王红球 ;

张建红 .

中国专利 :CN107884389A ,2018-04-06

[9]

用于自动校准拉曼光谱检测系统的方法及拉曼光谱检测系统 [P].

陈志强 ;

张丽 ;

李元景 ;

刘以农 ;

赵自然 ;

王红球 ;

俞冬梅 ;

盖洪峰 ;

李明亮 .

中国专利 :CN102297856B ,2011-12-28

[10]

用于拉曼光谱检测的安全防护装置和拉曼光谱检测系统 [P].

宁岩实 ;

张丽 ;

王红球 ;

易裕民 ;

张士新 .

中国专利 :CN205262968U ,2016-05-25

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