用于对齐晶片以用于制造的系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210297455.5

申请日：

2012-08-20

公开(公告)号：

CN102956532B

公开(公告)日：

2013-03-06

发明(设计)人：

刘刚 D·迈克尔

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

张欣

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101430518223 IPC(主分类):H01L 21/68 专利申请号:2012102974555 申请日:20120820
2013-03-06	公开	公开
2013-05-22	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101592211253 IPC(主分类):H01L 21/68 专利申请号:2012102974555 变更事项:申请人变更前:考戈奈克斯股份有限公司变更后:康耐视公司变更事项:地址变更前:美国马萨诸塞州变更后:美国马萨诸塞州
2015-08-19	授权	授权

共 50 条

[1]

用于检查晶片的系统和方法 [P].

I·里埃布雷格茨 ;

N·森 ;

K·图伊斯 ;

R·J·G·古森斯 .

中国专利 :CN113227905A ,2021-08-06

[2]

用于检查晶片的系统和方法 [P].

I·里埃布雷格茨 ;

N·森 ;

K·图伊斯 ;

R·J·G·古森斯 .

:CN113227905B ,2024-06-11

[3]

用于制造材料的方法、装置和系统 [P].

N·塔尔肯 ;

N·谢尼玛莱库马尔 ;

Z·基斯纳 .

德国专利 :CN118401908A ,2024-07-26

[4]

用于制造结构构件的方法和系统 [P].

A·格林 ;

F·海克尔 .

德国专利 :CN118591427A ,2024-09-03

[5]

用于生成用于晶片分析的校准数据的方法和系统 [P].

Y·西莫维奇 .

中国专利 :CN114078114A ,2022-02-22

[6]

用于实体对齐的方法和装置 [P].

刘潇 ;

唐杰 ;

E·哈特拉莫诺夫 .

德国专利 :CN118647986A ,2024-09-13

[7]

用于预测制造过程风险的系统和方法 [P].

莱拉·弗里德利 ;

亨里克·奥尔松 ;

西娜·科什菲特拉特帕卡扎德 .

美国专利 :CN114730390B ,2025-11-07

[8]

用于预测制造过程风险的系统和方法 [P].

莱拉·弗里德利 ;

亨里克·奥尔松 ;

西娜·科什菲特拉特帕卡扎德 .

中国专利 :CN114730390A ,2022-07-08

[9]

用于对齐寄存器的系统、装置和方法 [P].

J·C·圣阿德里安 ;

R·E·桑斯 ;

M·B·吉尔卡尔 ;

L·K·吴 ;

D·R·布拉德福德 ;

V·W·李 .

中国专利 :CN103562854B ,2014-02-05

[10]

用于对齐寄存器的系统、装置和方法 [P].

J·C·圣阿德里安 ;

R·E·桑斯 ;

M·B·吉尔卡尔 ;

L·K·吴 ;

D·R·布拉德福德 ;

V·W·李 .

中国专利 :CN107273095B ,2017-10-20

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