用于检查晶片的系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980085858.3

申请日：

2019-12-06

公开(公告)号：

CN113227905A

公开(公告)日：

2021-08-06

发明(设计)人：

I·里埃布雷格茨 N·森 K·图伊斯 R·J·G·古森斯

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

赵林琳;闫昊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-06	公开	公开
2021-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20191206

共 50 条

[1]

用于检查晶片的系统和方法 [P].

I·里埃布雷格茨 ;

N·森 ;

K·图伊斯 ;

R·J·G·古森斯 .

:CN113227905B ,2024-06-11

[2]

用于产生针对晶片的检查过程的方法和系统 [P].

熊艳 .

中国专利 :CN102422405B ,2012-04-18

[3]

检查晶片缺陷的方法及系统 [P].

洪羽芃 ;

陈庆荣 ;

黄凯斌 ;

黄清俊 ;

谈文毅 .

中国专利 :CN117853395A ,2024-04-09

[4]

用于密封检查的系统和方法 [P].

J·布鲁克莱梅尔 ;

M·戈德曼 ;

G·施努斯泰因 .

中国专利 :CN104685335A ,2015-06-03

[5]

用于对齐晶片以用于制造的系统和方法 [P].

刘刚 ;

D·迈克尔 .

中国专利 :CN102956532B ,2013-03-06

[6]

晶片检查 [P].

阿纳托利·罗曼诺夫斯基 ;

伊万·马列夫 ;

丹尼尔·卡瓦尔德杰夫 ;

尤里·尤迪特斯凯 ;

迪尔克·沃尔 ;

史蒂文·比耶拉卡 .

中国专利 :CN115343310A ,2022-11-15

[7]

用于提供检查信息的方法和用于确定检查信息的系统 [P].

斯文·科勒 ;

斯文娅·利普波克 ;

福尔克尔·沙勒 .

中国专利 :CN114283911A ,2022-04-05

[8]

晶片检查 [P].

阿纳托利·罗曼诺夫斯基 ;

伊万·马列夫 ;

丹尼尔·卡瓦尔德杰夫 ;

尤里·尤迪特斯凯 ;

迪尔克·沃尔 ;

史蒂文·比耶拉卡 .

美国专利 :CN115343310B ,2025-05-13

[9]

晶片检查 [P].

阿纳托利·罗曼诺夫斯基 ;

伊万·马列夫 ;

丹尼尔·卡瓦尔德杰夫 ;

尤里·尤迪特斯凯 ;

迪尔克·沃尔 ;

史蒂文·比耶拉卡 .

中国专利 :CN112113977A ,2020-12-22

[10]

晶片检查 [P].

阿纳托利·罗曼诺夫斯基 ;

伊万·马列夫 ;

丹尼尔·卡瓦尔德杰夫 ;

尤里·尤迪特斯凯 ;

迪尔克·沃尔 ;

史蒂文·比耶拉卡 .

美国专利 :CN120352444A ,2025-07-22

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