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晶圆测试卡及晶圆测试方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910973753.3
申请日：
2019-10-14
公开(公告)号：
CN110673016A
公开(公告)日：
2020-01-10
发明(设计)人：
余兴
蒋维楠
申请人：
申请人地址：
314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区隆兴路118号内主办公楼2129室
IPC主分类号：
G01R3128
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
徐文欣
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/28 申请日:20191014 |
| 2020-01-10 | 公开 | 公开 |