一种快速可控低成本制备大面积SiC纳米柱阵列的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202011091501.7
申请日
2020-10-13
公开(公告)号
CN112216600A
公开(公告)日
2021-01-12
发明(设计)人
郭书文 赵小龙 贺永宁 杨明超 蔡亚辉 张亮亮
申请人
申请人地址
710049 陕西省西安市咸宁西路28号
IPC主分类号
H01L21027
IPC分类号
H01L213065 H01L21308 B82Y4000
代理机构
西安通大专利代理有限责任公司 61200
代理人
闵岳峰
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种低成本大面积制备石墨烯薄膜的方法 [P]. 
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[2]
一种低成本大面积制备石墨烯薄膜的方法 [P]. 
陈甦 ;
王浩程 .
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一种大面积纳米颗粒阵列及其制备方法 [P]. 
崔洪涛 ;
齐孝文 ;
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[4]
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孙堂友 ;
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傅涛 ;
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肖功利 ;
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一种低成本大面积石墨烯透明导电膜制备方法 [P]. 
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[10]
超大面积制备氧化锌纳米棒阵列的方法 [P]. 
张亚非 ;
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中国专利 :CN103011256B ,2013-04-03