一种大面积制作纳米图形的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510114412.2

申请日：

2015-03-17

公开(公告)号：

CN104637790A

公开(公告)日：

2015-05-20

发明(设计)人：

许南发郭明灿周雅慧郭文平

申请人：

申请人地址：

261031 山东省潍坊市高新区玉清街以北银枫路以西光电园第三加速器西区

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

B82Y4000

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-20	公开	公开
2017-02-01	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101745954879 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2015101144122 变更事项:申请人变更前:山东元旭光电有限公司变更后:山东元旭光电股份有限公司变更事项:地址变更前:261031 山东省潍坊市高新区玉清街以北银枫路以西光电园第三加速器西区变更后:261031 山东省潍坊市高新区玉清街以北银枫路以西光电园第三加速器西区
2018-12-21	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20150520
2015-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616172838 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2015101144122 申请日:20150317

共 50 条

[1]

大面积纳米图形化的装置 [P].

兰红波 .

中国专利 :CN203217239U ,2013-09-25

[2]

大面积纳米图形化的装置和方法 [P].

兰红波 .

中国专利 :CN103235483B ,2013-08-07

[3]

一种大面积转移制备纳米结构的方法 [P].

孙堂友 ;

曹乐 ;

李海鸥 ;

傅涛 ;

刘兴鹏 ;

陈永和 ;

肖功利 ;

李琦 ;

张法碧 ;

李跃 .

中国专利 :CN110098120A ,2019-08-06

[4]

一种大面积制备纳米光栅的方法 [P].

耿照新 ;

吕晓庆 .

中国专利 :CN108333658A ,2018-07-27

[5]

一种大面积纳米阵列的制备方法 [P].

欧欣 ;

贾棋 ;

斯蒂芬·福斯柯 ;

王曦 .

中国专利 :CN104986728A ,2015-10-21

[6]

一种大面积纳米盘的制备方法 [P].

陈凯 ;

马楚荣 ;

赵峰 .

中国专利 :CN114481043A ,2022-05-13

[7]

大面积纳米结构阵列的制备方法 [P].

王坚 ;

何增华 ;

王晖 .

中国专利 :CN103540985B ,2014-01-29

[8]

大面积纳米光刻系统及其方法 [P].

浦东林 ;

陈林森 ;

朱鹏飞 ;

朱鸣 ;

邵仁锦 .

中国专利 :CN111427237B ,2020-07-17

[9]

大面积诱导的纳米结构组装 [P].

J·艾岑伯格 ;

T·N·克鲁彭金 ;

O·塞多伦科 ;

J·A·泰勒 .

中国专利 :CN101588987B ,2009-11-25

[10]

一种大面积纳米压印光刻的装置和方法 [P].

兰红波 ;

丁玉成 .

中国专利 :CN102591143A ,2012-07-18

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