大面积纳米结构阵列的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210243831.2

申请日：

2012-07-13

公开(公告)号：

CN103540985B

公开(公告)日：

2014-01-29

发明(设计)人：

王坚何增华王晖

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区中国上海张江高科技园区蔡伦路1690号4幢

IPC主分类号：

C25D1102

IPC分类号：

B82Y4000

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陆勍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101618684145 IPC(主分类):C25D 11/02 专利申请号:2012102438312 申请日:20120713
2017-06-16	授权	授权
2014-01-29	公开	公开
2020-03-20	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C25D 11/02 变更事项:专利权人变更前:盛美半导体设备(上海)有限公司变更后:盛美半导体设备(上海)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区中国上海张江高科技园区蔡伦路1690号4幢变更后:201203 上海市浦东新区自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢

共 50 条

[1]

一种大面积纳米阵列的制备方法 [P].

欧欣 ;

贾棋 ;

斯蒂芬·福斯柯 ;

王曦 .

中国专利 :CN104986728A ,2015-10-21

[2]

大面积诱导的纳米结构组装 [P].

J·艾岑伯格 ;

T·N·克鲁彭金 ;

O·塞多伦科 ;

J·A·泰勒 .

中国专利 :CN101588987B ,2009-11-25

[3]

一种大面积电子场致发射纳米结构阵列及其制备方法 [P].

任山 ;

刘向阳 .

中国专利 :CN101150028A ,2008-03-26

[4]

一种大面积转移制备纳米结构的方法 [P].

孙堂友 ;

曹乐 ;

李海鸥 ;

傅涛 ;

刘兴鹏 ;

陈永和 ;

肖功利 ;

李琦 ;

张法碧 ;

李跃 .

中国专利 :CN110098120A ,2019-08-06

[5]

一种大面积制备纳米光栅的方法 [P].

耿照新 ;

吕晓庆 .

中国专利 :CN108333658A ,2018-07-27

[6]

一种大面积纳米盘的制备方法 [P].

陈凯 ;

马楚荣 ;

赵峰 .

中国专利 :CN114481043A ,2022-05-13

[7]

大面积纳米光刻系统及其方法 [P].

浦东林 ;

陈林森 ;

朱鹏飞 ;

朱鸣 ;

邵仁锦 .

中国专利 :CN111427237B ,2020-07-17

[8]

大面积柔性自支撑聚苯胺纳米结构薄膜的制备方法 [P].

潘力佳 ;

李文博 ;

施毅 ;

濮林 .

中国专利 :CN101376715A ,2009-03-04

[9]

一种柔性衬底上大面积金属纳米针尖阵列的制备方法 [P].

孟秋实 ;

郭进 ;

曹国威 ;

周杰 ;

王俊 .

中国专利 :CN106809802A ,2017-06-09

[10]

一种大面积纳米缝电极阵列并行制造的方法 [P].

王文君 ;

梅雪松 ;

刘斌 ;

王恪典 ;

姜歌东 ;

郑卜祥 .

中国专利 :CN103030098B ,2013-04-10

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