高精度垂向位置测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010130820.4

申请日：

2010-03-23

公开(公告)号：

CN102200428A

公开(公告)日：

2011-09-28

发明(设计)人：

金小兵李志丹陈飞彪鲁武旺

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G01B1100

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-09-28	公开	公开
2011-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101137310739 IPC(主分类):G01B 11/00 专利申请号:2010101308204 申请日:20100323
2013-07-10	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101628024244 IPC(主分类):G01B 11/00 专利申请号:2010101308204 申请公布日:20110928

共 50 条

[1]

一种垂向位置测量装置 [P].

王兴海 ;

王海江 .

中国专利 :CN104808447B ,2015-07-29

[2]

用于板带材的高精度边缘位置测量装置 [P].

郝汝栋 .

中国专利 :CN201417135Y ,2010-03-03

[3]

工件台垂向位置测量系统 [P].

林彬 .

中国专利 :CN102445854A ,2012-05-09

[4]

基于先验数据校正的高精度位置测量装置与方法 [P].

夏红伟 ;

张昊翔 ;

王常虹 ;

马广程 ;

考永贵 ;

安昊 .

中国专利 :CN107990825A ,2018-05-04

[5]

一种光栅式垂向位置测量系统 [P].

王福亮 ;

徐荣伟 ;

孙建超 .

中国专利 :CN106931876A ,2017-07-07

[6]

一种基于红外热成像的高速高精度红外目标位置测量装置 [P].

李卓 ;

赵天择 ;

施蕊 ;

宋海平 ;

陈日明 ;

杨阳 .

中国专利 :CN115248464B ,2024-12-20

[7]

一种多源传感器高精度位置测量装置 [P].

肖乐杰 ;

尚文利 ;

时昊天 ;

常志伟 .

中国专利 :CN119224812A ,2024-12-31

[8]

垂向测量装置、垂向测量方法及光刻机 [P].

蓝科 ;

陈彩莲 ;

王易因 ;

刘逍 ;

赖勇 ;

李煜芝 ;

程建瑞 .

中国专利 :CN117192917B ,2024-12-31

[9]

掩模台垂向测量装置 [P].

江旭初 ;

李生强 ;

齐芊枫 .

中国专利 :CN102768470A ,2012-11-07

[10]

一种光栅式垂向位置测量系统 [P].

王福亮 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN106289054A ,2017-01-04

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