一种垂向位置测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410035494.7

申请日：

2014-01-26

公开(公告)号：

CN104808447B

公开(公告)日：

2015-07-29

发明(设计)人：

王兴海王海江

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01B1100

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101622462882 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014100354947 申请日:20140126
2017-06-06	授权	授权
2017-09-26	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101759893587 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2014100354947 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
2015-07-29	公开	公开

共 50 条

[1]

一种垂向位置测量装置及补偿方法和一种光刻机 [P].

王兴海 ;

王海江 .

中国专利 :CN107783379A ,2018-03-09

[2]

高精度垂向位置测量装置 [P].

金小兵 ;

李志丹 ;

陈飞彪 ;

鲁武旺 .

中国专利 :CN102200428A ,2011-09-28

[3]

一种光栅式垂向位置测量系统 [P].

王福亮 ;

徐荣伟 ;

孙建超 .

中国专利 :CN106931876A ,2017-07-07

[4]

一种光栅式垂向位置测量系统 [P].

王福亮 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN106289054A ,2017-01-04

[5]

工件台垂向位置测量系统 [P].

林彬 .

中国专利 :CN102445854A ,2012-05-09

[6]

掩模台垂向测量装置 [P].

江旭初 ;

李生强 ;

齐芊枫 .

中国专利 :CN102768470A ,2012-11-07

[7]

位置测量装置和用于运行位置测量装置的方法 [P].

埃尔玛·迈尔 ;

安德烈·维甘徳 .

中国专利 :CN107687829B ,2018-02-13

[8]

一种转动油缸垂向间距测量装置 [P].

陆毛毛 ;

丁跃进 ;

张怡 ;

鲁湘涌 ;

赵振飞 ;

徐海东 ;

杨新明 ;

吕冬冬 .

中国专利 :CN222460581U ,2025-02-11

[9]

城轨车辆垂向尺寸测量装置 [P].

韩朝 ;

马桂财 ;

陶志钢 ;

王继强 ;

王建飞 ;

杨学渊 ;

代文 ;

张宝丽 ;

贾增海 ;

任万真 .

中国专利 :CN211401094U ,2020-09-01

[10]

光学位置测量装置 [P].

托马斯·卡埃尔贝雷尔 .

中国专利 :CN111947567A ,2020-11-17

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